日本KOSAKA ET200 台阶仪说明书用户手册.pdf

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KOSAKALABET200

微细形状测定机（探针接触式台阶仪）

株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本第一家发表光学

杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大

部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点：

KOSAKAET200基于Windows操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半

导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、

薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高

精度表面形貌分析应用。ET200能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨

损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET200配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD

原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

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规格

一、测定工件：

1.最大工件尺寸：φ160mm

2.最大工件厚度：50mm

3.最大工件重量：2kg

二、检出器（pickup）：

1.Z方向测定范围：Max.600µm

2.Z方向分解能：0.1nm

3.测定力：10uN~500uN

4.触针半径：2µm60°

5.驱动方式：直动式

6.再现性：1σ=1nm(全量程)、1um以下台阶重现性可达0.2nm以下

三、X轴(基准轴)：

1.移动量(最大测长)：100mm

2.移动的真直度：0.2µm/100mm

3.移动,测定速度：0.005~20mm/s

4.线性尺(linarscale)：分解能0.1µm

四、Z轴：

1.移动量：50mm

2.移动速度：max.2mm/S

3.检出器自动停止机能

4.位置决定分解能：0.1µm

五、工件台：

1.工件台尺寸：φ160mm

2.机械手动倾斜:±2°(±1mm/150mm)

六、工件观察：max.135倍(可选购其它高倍率CCD)

七、床台：材质为花岗岩石

八、防振台(选购)：落地型或桌上型

九、电源：AC220V±10%,

50/60HZ,300VA

十、本体外观尺寸及重量：

W500×D440×H610mm,120kg

(不含防震台)

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