原创力文档- 1、本文档共72页，其中可免费阅读22页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
摘要
近年来，光子集成技术由于可以满足数据中心互联和干线超大容量传输的需求，
在光互联和智能传感等领域有着举足轻重的作用。硅光子技术具有能与互补金属氧化
物半导体（COMS）兼容和高集成度的特点发展尤为迅速，其中微环谐振腔（MRR）
以结构简单和多功能的优势被广泛应用于光传感和光通信等领域。本文主要研究了基
于MRR的传感器：提出了高灵敏度的反射型级联双环（RCMRR）传感器，设计并制
作了高灵敏度的反射型法布里-珀罗（FP）标准具与MRR级联的（REMRR）温度传
感器。
文档评论（0）