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摘要
集成光子芯片作为检测基于折射率改变的温度及生物分子变化的高灵敏度传感
器，具有集成度高、灵敏性强、成本较低和体积小等优势。因此目前可进行温度与
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物传感的检测，在未来也有较广的发展空间。由于硅在1550nm波长处具有1.84×10
K-1的正热光系数，因此由硅绝缘体制成的微环谐振腔传感器，可充分利用热光效应
进行传感。传感器温度变化
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