一种新的MEMS陀螺温度误差建模与补偿方法 .pdfVIP

一种新的MEMS陀螺温度误差建模与补偿方法 .pdf

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VolNo

与声光.39.1

PIEZOELECTRICSaACOUSTOOPTICSFeb

.2017

文章编号#004-2474(2017)01-0136-04

MEM

一种新的-陀螺温度误差建模与补偿方法

孙田川,刘洁瑜

(火箭军工程大学控制工程系,陕西西安710025)

MEMSMEMS

摘要:为了减少温度对微机电系统()陀螺仪测量精度的影响,改进了一种不需要测量温度的

MEMS

陀螺温度误差建模与补偿方法。该方法首先通过多项式拟合得到陀螺全温区零偏与温度的多项式模型,

并根据最小二乘法原理确定模型阶数,然后通过分析温度对驱动轴相位的影响,得到驱动轴相位的温度模型,最后

得到零偏与驱动轴相位的多项式拟合模型并针对该模型对陀螺零偏进行补偿实验结果表明该方法能降低温度

。,

MEMS

造成的陀螺误差提高陀螺的使用精度

,。

MEMS

关键词:微机电系统()陀螺仪;零偏;多项式拟合;驱动轴相位;温度补偿

V241.5A

中图分类号:文献标识码:

CompensationMethodofMEMSGyroscope

SUNTianchuan,LIUJieyu

,,

(Dept.ofControlEngineering,RocketForceUniversityofEngineeringXi’an710025China)

AbaInordertoreducethetemperature-relatederrorsinMEMSgyroscopeanoveltemperature-relateder­

strc

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