ITO膜透明导电玻璃的特性_制备和应用 .pdfVIP

№陕西科技大学学报

Ξ.1Feb.2003

・106・

JOURNALOFSHAANXIUNIVERSITYOFSCIENCETECHNOLOGYVo.l21

文章编号()

:1000-5811200301-0106-04

ITO膜透明导电玻璃的特性、制备和应用

马颖张方辉牟强

,,

(陕西科技大学电气与电子工程学院,陕西咸阳712081)

摘要主要介绍了膜透明导电玻璃的主要特性、结构、导电机理、半导化机理、制备方

:ITO

法综述了其在液晶显示器行业以及其它领域中的应用。

,

关键词膜透明导电玻璃溶胶—凝胶法磁控溅时液晶显示器

:ITO;;;

中图分类号:484.4+2文献标识码:

OA

0前言

()

22铟锡氧化物的简称膜透明导电玻璃以下简称膜玻璃属信息产业领域

,,,

ITOIndiumTinOxideITO

广泛使用的电气、电子玻璃家族中的一员在信息产业中有着重要的地位。透明导电玻璃作为平面显示器

,

行业的上游产品其应用面极广不但是()

,,液晶显示器中的关键组件还可在其它高阶平面显示器中

LCD,

()

作为透明玻璃电极并与民用消费产品诸如建材、汽车、电视等息息相关其工艺更可进一步延伸为市场

,,

所需的任何导电玻璃的生产。

1ITO膜的性能

〔〕

铟锡氧化物薄膜是综合性能最优异的透明导电薄膜1(

具有一系列独特性能较低的电阻率约为

,:

-48・cm)可见光透过率可达以上紫外线吸收率大于红外线反射率大于微波衰