微波无源器件用高温超导薄膜结构、分类、规范和使用的技术信息.pdfVIP

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附录A

（资料性）

微波无源器件用高温超导薄膜结构

A.1总则

微波无源器件用高温超导薄膜通过专业人员的材料选择和工艺改进，以满足微波无源器件所需的指

标要求。超导薄膜具有较为复杂的内部结构，其组成包括基底材料、过渡层、超导层和金层。高温超导

薄膜的种类概述和功能组分的作用分别在A.2和A.3中进行阐述。如正文提到的，微波无源器件用高温超

导薄膜通过选用不同的基底及超导材料，可以获得不同的超导特征和特性，以满足不同应用需要。根据

微波无源器件实际应用需求，高温超导薄膜的结构形式可以为单面超导薄膜或双面超导薄膜，可以包含

或不包含金层。附录B介绍了不同基底和超导层的结构，包括典型组分的选择。

A.2微波无源器件用高温超导薄膜概述

多种不同基底的超导薄膜均属于微波无源器件用高温超导薄膜，其细节描述参见附录B。微波无源

器件用高温超导薄膜的使用温度通常低于其临界温度。

一般来说，微波无源器件用高温超导薄膜要考虑薄膜表面性能均匀性、微波表面电阻、临界电流密

度等性能指标，以及基底材料，基底的厚度、均匀性、公差，以满足微波无源器件的性能要求。

有些微波无源器件用高温超导薄膜在使用中会因外界环境导致超导薄膜表面污染。在这种情况下，

可通过在超导层外镀一层金来保护超导层。

A.3功能组分概述

A.3.1基底材料

通常，基底材料以氧化镁（MgO）、铝酸镧(LAO)、蓝宝石（AlO）、钛酸锶(SrTiO)、铝酸锶钽镧

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（LSAT）为主。基底材料不同，其复数介电常数不同，可以满足不同指标要求的微波器件应用。基底材

料的直径范围从1英寸到3英寸不等，基底材料厚度范围从0.2mm到1.0mm不等。基底材料对超导层有

多重功能，包括：机械支撑、外延生长等。对于基底材料，表面抛光的粗糙度会直接影响超导薄膜的性

能，厚度和公差会影响到微波无源器件的射频性能。

A.3.2过渡层

过渡层可以解决基底材料与超导薄膜材料之间的晶格失配问题，减少基底材料和薄膜之间的原子扩

散，增加超导薄膜与基底之间的结合力，提高超导薄膜的性能和稳定性。如先在基底材料上镀一层CeO，

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然后再镀超导层来提高超导层的性能和结合力。根据超导薄膜的材料、基底材料和制备工艺的不同，可

以选择是否需要过渡层。

A.3.3超导层

通过选用不同的超导材料，以获得不同特性和特征的超导薄膜。各种超导层的细节在附录B中有更

精准的描述。

A.3.4金层

微波无源器件用高温超导薄膜超导层外通常镀金层，来提供电接触，同时可以为超导层提供保护，

避免因外界污染而损坏。

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