DB35T 1873-2019 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件.docxVIP

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DB35

福建省地方标准DB35/T1873—2019

热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

Generaltechnicalspecificationforthermalsprayingrotarysilicontarget

2019-12-19发布2020-03-19实施

福建省市场监督管理局发布

I

DB35/T1873—2019

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3要求 1

4试验方法 3

5检验规则 3

6标志、包装、运输和贮存 4

II

DB35/T1873—2019

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由福建阿石创新材料股份有限公司提出。本标准由福建省工业和信息化厅归口。

本标准起草单位：福建阿石创新材料股份有限公司、福建省产品质量检验研究院、福建省测试技术研究所、福州允能光电有限公司、福州荣德光电有限公司。

本标准主要起草人：张科、任小英、陈钦忠、郑建文、林志河、汪家兵、陈丹红。

1

DB35/T1873—2019

热喷涂旋转硅靶材通用技术条件

1范围

本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1423贵金属及其合金密度的测试方法

GB/T1551硅单晶电阻率测定方法

GB/T13296锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管

GB/T26125电子电气产品六种限用物质（铅、汞、镉、六价铬、多溴联苯和多溴二苯醚）的测定YS/T935电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

3要求

3.1原料要求

3.1.1不锈钢衬管

钢材应为奥氏体不锈钢无缝管。

3.1.2硅粉纯度

硅粉标称含量应大于等于99.95%。

3.2硅涂层杂质元素限量指标

硅涂层杂质元素限量指标应符合表1的规定。

表1硅涂层杂质元素限量指标

杂质

Al

Cr

Cu

Ni

Ti

Fe

V

Mn

Zr

O

N

限量/（mg/kg）

≤500

≤10

≤30

≤50

≤70

≤350

≤30

≤50

≤10

≤6000

≤1000

2

DB35/T1873—2019

3.3外观质量

表面颜色应均匀，靶表面应平整，无裂纹，无崩边，气孔直径不大于0.5mm，且无外来夹杂物和污染物。

3.4尺寸偏差

尺寸偏差应符合表2的规定。

表2尺寸偏差

部位

允许偏差/mm

衬管平直度

±1

衬管长度

±1

衬管内径

±0.5

衬管外径

±1.2

涂层材料厚度（平直部分）

-0～+1

涂层材料厚度（狗骨部分）

-0～+1

涂层材料起始点距管端部距离

±1

涂层最厚处距靶管端部的距离

±5

涂层狗骨部分长度

-0～+3

3.5物理性能3.5.1密度

涂层密度(ρ)应大于等于2.2g/cm3，且密度均匀性偏差应小于等于±2%。3.5.2电阻率

涂层电阻率应小于0.05Ω?cm。

3.6涂层有害物质指标

涂层有害物质指标应符合表3的规定。

表3涂层有害物质指标

涂层有害物质

Pb

Hg

Cr（VI）

PBBs

PBDEs

Cd

含量/(mg/kg)

≤1000

≤1000

≤1000

≤1000

≤1000

≤100

3

DB35/T1873—2019

4试验方法

4.1原料

4.1.1不锈钢衬管

每批检查供应商材质报告，有争议时按照GB/T13296进行材质分析。

4.1.2硅粉纯度

每批检查供应商材质报告，有争议时按照高分辨率辉光放电质谱法进行材质分析。4.2硅涂层杂质元素限量

按YS/T935的规定进行检测。

4.3外观质量

在照度800lm的日光灯照条件下，通过目测和量具检验，量具精度优于0.02mm。4.4尺寸偏差

使用精度优于0.05mm的量具测量。

4.5物理性能

4.5.1涂层密度

单根产品进行破坏性取样，取样位置分别为涂层两端和中间位置，取三组样品，每组重量在5g~1