GEM）系列：GEM300_（3）.GEM300硬件设计.docx

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GEM300硬件设计

1.硬件架构概述

在半导体制造设备控制系统（SECS/GEM）系列中，GEM300的硬件设计是实现高效、可靠和安全的设备控制的基础。GEM300的硬件架构主要包括以下几个部分：

中央处理单元（CPU）：负责处理设备的控制逻辑和数据通信。

输入输出（I/O）模块：用于连接传感器、执行器和其他外部设备。

通信模块：实现设备与主机系统之间的数据交换。

存储模块：存储设备的配置信息、运行数据和日志。

电源管理模块：确保设备在不同工作状态下的稳定供电。

人机交互界面（HMI）：提供操作人员与设备进行交互的界面。

1.1中央处理单元（CPU