CSTM-基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法.docVIP

ICSXX.XXX.XX

XXX

团 体 标 准

T/CSTMXXXXX-201X

基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

TestingMethodofOpticalConstantsfor

ThinFilmsBasedOnPhoto-metricMethod

（征求意见稿）

201X-XX-XX发布201X-XX-XX实施

发布中关村材料试验技术联盟

发布

T/CSTMXXXXX—2018

T/CSTMXXXXX—2019

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I

前言

本标准采用分光光度计测量的光谱特性数据反演光学薄膜常数。

本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由中国材料与试验团体标准委员会CSTM-FC60领域委员会提出。

本标准由中国材料与试验团体标准委员会CSTM-FC60领域委员会归口。

本部分起草单位：西南技术物理研究所，中国科学院上海光学精密机械研究所。

本部分主要起草人：马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、沈刚、易葵、张伟丽、赵元安

T/CSTMXXXXX—2018

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基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

范围

本标准规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的的测试方法。

本标准适用于紫外、可见、近红外区域的低吸收介质光学薄膜和基片，不适用于金属膜等强吸收膜层和基片。

规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T26332.1-2018/ISO9211-1:1994光学和光学仪器光学薄膜第1部分：定义

GB/T26332.2-2015/ISO9211-2:2010光学和光子学光学薄膜第2部分：光学特性

介质薄膜分层模型

单层介质薄膜可等效为图1的基本模型：

图1介质薄膜分层模型

沉积的单层膜，和空气侧存在疏松结构，和基片的互扩散作用可数学等效为表面散射层和基片过渡层，在一定条件下，散射层和过渡层的厚度很小，可忽略不计。

非均匀性假设

薄膜材料可能是非均匀的，其折射率在厚度方向上变化，数学上可用多个折射率递增或递减的子层替代，通常2-3层即可，见图2。膜层的基本结构为空气/散射层/非均匀子层/过渡层/基片。

图2薄膜非均匀性假设

光学常数色散模型

Cauchy模型

Cauchy模型的光学如公式1和公式2给出，n、k为折射率和消光系数，C0=102，C1=107。

Tanc-Lorentz（TL）模型

图3薄膜非均匀性假设

TL模型中可由多个不同的振子构成，每个振子有Eg、E0、A、C四个参数构成，Eg是材料吸收限（eV），E0是共振频率（eV），A为振幅，C为带宽。

Sellmeier模型

A、B、C、D、E均为常数。

色散模型适用性和等效性

上述三种模型是等效的，TL模型更适用于紫外波段有吸收的材料。

测试原理

透射和反射光谱

膜层的透射比T和反射比为R：

其中：B、C为

其中ηs为基片导纳，mxx为薄膜的特征矩阵，采用散射、过渡层和非均匀子层模型时，特征矩阵为这些子层特征矩阵的乘积。

评价函数

评价函数F为测量透过率值和理论透过率值之差的平方和。

F=Σ（Tc（λ）-Tth（λ））2

反演

对评价函数可采用常规的最小二乘法、梯度法、模拟退火法等进行优化，获得对各波长点的透射比差的最小值平方和。

测试步骤

A．采用分光光度计，测试获得基片和材料实验薄膜的透射光谱；

B．将光谱值导出为ASCII码文件；

C．以本标准第3条、第4条建立相应的模型；

D．选取第5条中的一种色散模型，推荐使用柯西模型，按经验值给定初始参数；

E．根据色散模型和结构构建相应的评价函数

F．进行光谱反演

G.评价计算结果，根据评价函数的大小、拟合曲线的符合程度、已知材料的经验值判定是否物理解，如果判定为数学解，改变初始结构和初始参数，从C重新进行计算。

试验报告

试验报告应当包括下列内容：

样品流水号；

本标准号；

光谱初始曲线和拟合曲线；

拟合的最后结构，光学常数列表；