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摘要
材料科学、光学和计算机科学等领域的技术不断革新，加快了微光夜视技术的发
展与突破，其中微光像传感器从最初的真空器件，如今发展到了真空与固体混合型器
件。电子轰击型互补金属氧化物半导体（ElectronBombardmentComplementaryMetal
OxideSemiconductor，EBCMOS）是一种在国内微光夜视领域备受关注的混合型器件，
部分研究机构对该器件的研究已经取得了重大成果。但是，在器件理论模型方面并不
是很完善，在工艺制备方面还未有详细报道，在增益
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