TA7钛合金离子渗氮与PVD涂敷TiN涂层工艺对比研究.pdfVIP

TA7钛合金离子渗氮与PVD涂敷TiN涂

层工艺对比研究

海装广州局驻贵阳地区军事代表室，贵州，贵阳，550081

摘要：在某型发动机研制过程中，为了强化TA7钛合金表面耐磨性，及解决

TA7钛合金离子氮化变形控制问题，我们进行了钛合金离子氮化及PVD涂敷TiN

涂层工艺对比分析研究。通过在某型机不同零件及不同试验条件下的对比分析，

证明了PVD涂覆TiN涂层工艺能够满足航空发动机钛合金表面耐磨要求。

关键词：TA7钛合金；PVD涂敷TiN涂层；钛合金离子氮化

前言

在强化TA7钛合金表面耐磨性方面，某型发动机研制主要经历了PVD涂敷

TiN涂层--钛合金离子氮化--PVD涂敷TiN涂层三个阶段。早期，由于国内钛合

金离子氮化方面还处于空白，无法满足某型发动机的研制要求，因此我们采用在

TA7钛合金表面PVD涂敷TiN涂层的方法来代替钛合金离子氮化工艺。

1研究背景

在早期研究中，采用PVD涂敷的零件为某型发动机1号轴承座、1号轴承衬

套、1号轴承支架三个件号。该型发动机中的两台就是采用的PVD涂敷TiN涂层

方法制备零件。根据与采用此项涂层技术的其他型号发动机对照的结果，我们在

其他5个件号的表面增加了真空渗氮的要求，此时离子氮化的零件号增加到8个

件号，分别为2号轴承座、3号轴承座、1号支架、1号轴承衬套、2号轴承衬套、

3号轴承衬套、4号轴承衬套、1号轴承支架。我们进行了钛合金真空离子氮化的

技术攻关，并进行渗氮零件的生产。但是，到现在为止还未找到合适的方法解决

零件的氮化变形控制问题，也没有相应的检验标准可以借鉴。

为了解决TA7钛合金离子氮化变形控制问题，我们针对离子氮化后尺寸变形

最大的3号轴承座（最大变形0.158mm），开展了PVD涂覆TiN涂层工艺试验，

及TA7合金离子渗氮与PVD涂敷TiN涂层工艺对比分析研究。为进一步验证用

PVD涂覆TiN涂层代替发动机中央传动装置中2号轴承座和3号轴承座的真空渗

氮处理的可行性，通过工艺对比分析，决定对其他几台同型号发动机的中央传动

装置的2号轴承座和3号轴承座进行PVD涂敷TiN。

2钛合金PVD涂敷TiN涂层及钛合金离子氮化工艺对比分析

2.1钛合金PVD涂敷TiN涂层工艺

物理气相沉积（PVD涂敷）TiN涂层作为一种高硬度、高粘着强度、低摩擦

系数、抗腐蚀性好的表面强化技术，已广泛应用于各个领域。目前在某型飞机摩

擦片及波音客机发动机零件上均已使用。钛合金PVD涂敷TiN涂层是在专用的涂

敷设备中进行，零件为阴极，Ti靶作为阳极，气体为纯N。钛合金PVD涂镀工艺

2

为：温度：400-480℃，涂镀时间为：3.5-4h,设备为TiN专用涂镀设备。

前期我们已经开展了的PVD涂敷替代TA7钛合金氮化的工艺试验研究，结果

表明：在设计图纸要求的TA7钛合金零件氮化面上涂镀TiN涂层，涂层硬度达到

了渗氮层的硬度水平，在不同摩擦副和不同载荷下PVD涂镀TiN涂层的TA7钛合

金试件经过200h的磨损试验后，TiN涂层保持完好，未产生裂纹、剥落现象，磨

损量远低于返修要求，说明TiN涂层的结合力较好，能够满足设计图纸要求。

2.2钛合金离子氮化工艺

离子渗氮是钛合金零件表面强化的一种重要手段，主要是利用辉光放电原理

进行的。离子渗氮是在充以含氮气体的低真空炉体内把金属工件作为阴极，炉体

为阳极进行的。通电后氮离子在电场的作用下以高速向工件表面轰击，加热零件

表面至所需温度，同时经过吸附和扩散作用，氮离子渗入工件表面形成冶金结合。

钛合金零件经离子氮化处理后，可显著提高材料表面的硬度，使其具有高的耐磨

性、疲劳强度、抗蚀能力及抗烧伤性等。

钛合金离子氮化工艺为：850℃～900℃，保温时间为17h，入炉到出炉总时

长28h，设备为小型LD-20离子脉冲渗氮炉。

TA7钛合金进行离子氮化后，通过X射线衍射谱得到的物相分析结果表明：

离子渗氮获得的渗氮层的相组成复杂，由ε相（TiN）、ε′相（TiN）及大量