《钒及钒合金靶材》.docx

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钒及钒合金靶材

1范围

本文件规定了钒及钒合金靶材的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜用钒及钒合金靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T8651金属板材超声板波探伤方法

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YB/T4908.2钒铝合金硅、铁、磷、硼、铬、镍、钨、铜、锰、钼含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

YB/T4908.4钒铝合金氢含量的测定惰性气体熔融红外吸收法或热导法

YB/T4908.5钒铝合金碳、硫含量的测定高频感应燃烧-红外吸收法

YB/T4908.6钒铝合金氧、氮含量的测定惰性气体熔融红外吸收法和热导法

YS/T540.1钒化学分析方法第1部分：钒量的测定高锰酸钾-硫酸亚铁铵滴定法

YS/T540.5钒化学分析方法第5部分：杂质元素测定电感耦合等离子体原子发射光谱法YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T1075.10钒铝、钼铝中间合金化学分析方法第10部分：钠含量的测定火焰原子吸收光谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶坯targetblank

阴极上用于溅射材料的部分。

3.2

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的材料。

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4分类

4.1产品外形通常分为圆形和方形，或由需方提供图纸；按照结构形式分为复合体靶材和单体靶材，结构示意图如图1所示。

靶坯背板

a）复合体靶材b）单体靶材

图1靶材结构示意图

4.2产品按照化学成分分为钒靶材和钒合金靶材，产品牌号应符合表1的规定。表1产品牌号

靶材种类

牌号

钒靶材

V

-

-

钒合金靶材

V99W1

V95W5

V91W9

5技术要求

5.1化学成分

钒靶材的化学成分要求应符合表2的规定，钒合金靶材的化学成分要求应符合表3的规定。表2钒靶材化学成分

牌号

V

V含量（质量分数）%，不小于

99.95

杂质元素含量（质量分数）×10%，

不大于

Fe

100

Ni

50

Si

500

Al

500

Cu

50

Cr

50

W

50

K

10

Na

10

C

100

N

100

O

200

H

50

S

50

V的质量分数为100%减去杂质元素含量（C、N、O、H、S除外）实测总和的余量。

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表3钒合金靶材化学成分

牌号

V99W1

V95W5

V91W9

V含量（质量分数）%

98.9～99.1

94.5～95.5

90.1～91.9

W含量（质量分数）%

0.9～1.1

4.5～5.5

8.1～9.9

V+W含量（质量分数）%，不小于

99.7

杂质元素含量（质量分数）×10%，

不大于

Fe

1000

Ni

200

Si

800

Al

800

Cu

200

Cr

200

K

50

Na

50

C

100

N

1000

O

1500

H

100

S

50

W含量为V+W含量减去V含量的余量。

V+W的质量分数为100%减去杂质元素含量（C、N、O、H、S除外）实测总和的余量。

5.2晶粒尺寸

产品的晶粒尺寸平均值应不大于100μm，最大值应不大于150μm。需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定。

5.3相对密度

产品的相对密度应不小于98%。5.4内部质量

产品内部不应有分层、夹杂、疏松和气孔等缺陷。5.5焊接质量

复合体靶材的焊接方法通常为钎焊，焊接结合率应不小于95%，单个未焊合间隙面积应不大于总面积的2.5%。

5.6外形尺寸

产品通常为圆形，尺寸规格及结构方式应符合需方图纸要求。产品溅射面的平面度应小于0.1mm。5.7表面粗糙度

产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。5.8外观质量

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