《钒及钒合金靶材》.pdf

YS/TXXXX-XXXX

钒及钒合金靶材

1范围

本文件规定了钒及钒合金靶材的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜用钒及钒合金靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T8651金属板材超声板波探伤方法

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

YB/T4908.2钒铝合金硅、铁、磷、硼、铬、镍、钨、铜、锰、钼含量的测定电感耦合等离子

体原子发射光谱法

YB/T4908.4钒铝合金氢含量的测定惰性气体熔融红外吸收法或热导法

YB/T4908.5钒铝合金碳、硫含量的测定高频感应燃烧-红外吸收法

YB/T4908.6钒铝合金氧、氮含量的测定惰性气体熔融红外吸收法和热导法

YS/T540.1钒化学分析方法第1部分：钒量的测定高锰酸钾-硫酸亚铁铵滴定法

YS/T540.5钒化学分析方法第5部分：杂质元素测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

YS/T1075.10钒铝、钼铝中间合金化学分析方法第10部分：钠含量的测定火焰原子吸收光谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

靶坯targetblank

阴极上用于溅射材料的部分。

3.2

背板backingplate

用来支撑或固定靶坯的材料。

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4分类

4.1产品外形通常分为圆形和方形，或由需方提供图纸；按照结构形式分为复合体靶材和单体靶材，

结构示意图如图1所示。

靶坯

背板

a）复合体靶材b）单体靶材

图1靶材结构示意图

4.2产品按照化学成分分为钒靶材和钒合金靶材，产品牌号应符合表1的规定。

表1产品牌号

靶材种类牌号

钒靶材V--

钒合金靶材V99W1V95W5V91W9

5技术要求

5.1化学成分

钒靶材的化学成分要求应符合表2的规定，钒合金靶材的化学成分要求应符合表3的规定。

表2钒靶材化学成分

牌号V

a

V含量（质量分数）%，