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2019年云光技术第51卷第2期

EBCCD与EBCMOS的研究概况

谭何盛,张昆林,靳英坤,邓华兵

(北方夜视技术股份有限公司,云南昆明650217)

摘要:本文介绍了EBCCD和EBCMOS的研究历史、器件结构与工作机制以及国内外

发展现状,并对夜视技术的未来做出了展望。数字微光夜视技术是微光夜视技术领域的

最新进展,是能将微弱的二维空间光学图像,转换为一维的数字视频信号,并再现为适

合人眼观察的技术,是未来微光夜视技术的发展方向。国际上各国为了保证自己国家夜

视技术的领先优势,抑制我国夜视技术的发展,因此,在夜视技术上,若想要追赶和超

越国外先进水平,唯有加大研究力度,迎难而上,填补这类器件在国内的空白。

关键词:微光夜视技术;EBCCDEBCMOS;电子轰击成像

0引言

数字微光夜视技术是微光夜视技术领域的最新进展,是能将微弱的二维空间光学图像,转换

为一维的数字视频信号,并再现为适合人眼观察的技术。该技术涉及图像的光谱转换、增强、处

理、记录、储存、读出、显示等物理过程,通过数字技术的手段,改造、提高、丰富了微光夜视

技术,使数字技术和微光夜视技术完美融合,是微光夜视技术的发展方向。

目前常用的微光图像传感器主要有两大类:真空直视型图像传感器和固体视频型图像传感

器。真空直视型图像传感器的代表产品是二代、三代像增强器,其光阴极的量子效率相对较低,

但热电流噪声也十分低。固体视频型图像传感器为硅成像器件,包括电荷耦合器件(CCD)和互

补金属-氧化物-半导体器件(CMOS)。微光视频传感器亦称低照度图像传感器(LowLighLevel

Sensor,L3Sensor)从创新和研发的思路上看,微光视频传感器就是综合了真空直视型图像传感

器和固体视频型图像传感器的优点,抑制或排除了两者缺点的集成传感器。

电子轰击混合型光电探测器(EBCCD和EBCMOS等)便是当前最先进的一种混合型器件,

在国外已被广泛应用于生物检测、微光夜视、激光雷达、高能物理和天文观察等领域。

1器件历史概况

1970年月,美国贝尔实验室的W.S.Bayle和G.E.Smith提出了一种新型半导体器件——电荷

耦合器件CCD,从而揭开了新一代夜视技术的序幕。

美国E.J.Wampler在1972年为大型天文望远镜选择探测器时提出把CCD结合进真空管,用

光电阴极作为电子源,CCD靶工作在电子轰击模式下的方案。

1979年以前大部分实验是研究EBCCD的可行性和可靠性以及分析其特性,1979年以后已

有EBCCD应用的报道,主要用于摄影、天文以及空间技术、电子显微摄影、光子或光电子计数。

我国EBCCD的研制起步较晚,1976年开始,但借鉴了国外联合研制的经验,由44所负责

CCD靶,31所负责整管制作,但是制作出的管子性能极差。

1999年俄国Electron与Geosphera公司研制的1024×1024EBCCD,即兆线元数EBCCD变

倍管是目前倒像式EBCCD像管中的最高水平。

2006年和2010年南京电子器件研究所研制出具有实时电子成像功能的EBCCD,性能一般,

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2019年云光技术第51卷第2期

工艺存在一定问题。

2器件结构与工作机制

EBCCD是在像增强器内用对电子灵敏的BCCD(背照式CCD)代替通常的荧光屏而构成,

它不需要微通道板MCP、荧光屏和纤维光学耦合器,从而使成像链的环节减小到最小程度,即

[1]

光—光

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