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2019年云光技术第51卷第2期

EBCCD与EBCMOS的研究概况

谭何盛，张昆林，靳英坤，邓华兵

（北方夜视技术股份有限公司，云南昆明650217）

摘要：本文介绍了EBCCD和EBCMOS的研究历史、器件结构与工作机制以及国内外

发展现状，并对夜视技术的未来做出了展望。数字微光夜视技术是微光夜视技术领域的

最新进展，是能将微弱的二维空间光学图像，转换为一维的数字视频信号，并再现为适

合人眼观察的技术，是未来微光夜视技术的发展方向。国际上各国为了保证自己国家夜

视技术的领先优势，抑制我国夜视技术的发展，因此，在夜视技术上，若想要追赶和超

越国外先进水平，唯有加大研究力度，迎难而上，填补这类器件在国内的空白。

关键词：微光夜视技术；EBCCDEBCMOS；电子轰击成像

0引言

数字微光夜视技术是微光夜视技术领域的最新进展，是能将微弱的二维空间光学图像，转换

为一维的数字视频信号，并再现为适合人眼观察的技术。该技术涉及图像的光谱转换、增强、处

理、记录、储存、读出、显示等物理过程，通过数字技术的手段，改造、提高、丰富了微光夜视

技术，使数字技术和微光夜视技术完美融合，是微光夜视技术的发展方向。

目前常用的微光图像传感器主要有两大类：真空直视型图像传感器和固体视频型图像传感

器。真空直视型图像传感器的代表产品是二代、三代像增强器，其光阴极的量子效率相对较低，

但热电流噪声也十分低。固体视频型图像传感器为硅成像器件，包括电荷耦合器件（CCD）和互

补金属-氧化物-半导体器件（CMOS）。微光视频传感器亦称低照度图像传感器（LowLighLevel

Sensor,L3Sensor）从创新和研发的思路上看，微光视频传感器就是综合了真空直视型图像传感

器和固体视频型图像传感器的优点，抑制或排除了两者缺点的集成传感器。

电子轰击混合型光电探测器（EBCCD和EBCMOS等）便是当前最先进的一种混合型器件，

在国外已被广泛应用于生物检测、微光夜视、激光雷达、高能物理和天文观察等领域。

1器件历史概况

1970年月，美国贝尔实验室的W.S.Bayle和G.E.Smith提出了一种新型半导体器件——电荷

耦合器件CCD，从而揭开了新一代夜视技术的序幕。

美国E.J.Wampler在1972年为大型天文望远镜选择探测器时提出把CCD结合进真空管，用

光电阴极作为电子源，CCD靶工作在电子轰击模式下的方案。

1979年以前大部分实验是研究EBCCD的可行性和可靠性以及分析其特性，1979年以后已

有EBCCD应用的报道，主要用于摄影、天文以及空间技术、电子显微摄影、光子或光电子计数。

我国EBCCD的研制起步较晚，1976年开始，但借鉴了国外联合研制的经验，由44所负责

CCD靶，31所负责整管制作，但是制作出的管子性能极差。

1999年俄国Electron与Geosphera公司研制的1024×1024EBCCD,即兆线元数EBCCD变

倍管是目前倒像式EBCCD像管中的最高水平。

2006年和2010年南京电子器件研究所研制出具有实时电子成像功能的EBCCD，性能一般，

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工艺存在一定问题。

2器件结构与工作机制

EBCCD是在像增强器内用对电子灵敏的BCCD（背照式CCD）代替通常的荧光屏而构成，

它不需要微通道板MCP、荧光屏和纤维光学耦合器,从而使成像链的环节减小到最小程度，即

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