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基于共振光隧穿效应的加速度传感器

佚名

【摘要】为了设计新型的加速度传感器,将共振光隧穿结构应用于传感元件,利用

COMSOL软件对传感器的频率响应、灵敏度性能等关键要素进行了模拟仿真分析,

搭建了实验平台,验证了共振光隧穿原理.结果表明,基于共振光隧穿效应结构的加速

传感器在100Hz~3000Hz范围内、加速度为500m/s2的情况下,灵敏度可达到

6.7dB/g.该传感器小巧轻便、结构简单,且具有较高的灵敏度,这为光学传感器的研

究提供了新的方法和思路,具有广阔的应用前景.

【期刊名称】《激光技术》

【年(卷),期】2019(043)001

【总页数】5页(P43-47)

【关键词】传感器技术;共振光隧穿效应;加速度传感器;灵敏度;谐响应

【正文语种】中文

【中图分类】TP212.1+4

引言

加速度计即加速度传感器，可用于感知目标设备的运动状态，已成为国防、工业等

诸多领域的重要测量器件，尤其在进行冲击、振动、导航等测试和应用上起到了至

关重要的作用。微机电系统技术的迅猛发展，极大地促进了加速度传感器的性能优

化，体积不断减小的同时，其灵敏度、稳定性及抗干扰能力也有了很大的提升

［1-4］。光学加速度传感器作为研究的新方向，旨在从灵敏度、分辨率、测量范

围等方面提高传感器的性能，其工作原理主要是基于波导耦合或者光纤光栅［5-

11］。

本文中将共振光隧穿效应(resonantopticaltunnelingeffect，ROTE)应用于光学

加速度计的理论设计，通过对加速度计的模型设计、结构参量分析，以及

COMSOL灵敏度仿真、频率响应仿真、悬臂梁弯曲强度仿真、加速度计振动检测

分析、基于频谱的位移检测分析等，设计了一种基于ROTE结构的线性加速度传

感器。

1ROTE原理与传感器结构设计

1.1ROTE原理

共振光隧穿效应(ROTE)是在光学隧穿效应［12］(受抑全内反射)的基础上提出来

的一种新型的光学现象。光学隧穿效应是指光线从高折射率层照射到低折射率层，

并且入射角大于临界角时，在界面处会发生全反射，当低折射率层的厚度足够小

(小于入射光波长)时，光线将穿过低折射率层，即穿过经典几何光学中光线不能穿

过的“壁垒”，形成透射(隧穿光线)。而共振光隧穿效应是在满足光学隧穿效应的

前提下，促使隧穿光线在微米级的谐振腔中形成共振的一种光学效应［13-14］。

1.2传感器结构设计

基于ROTE的加速度传感器结构如图1所示。包括中间的圆柱形质量块和两根弹

性悬臂梁与外边框相连。传感元件采用ROTE结构，如图2所示。包含在中间的

圆形质量块中。通过仿真分析，圆柱形质量块的半径设为0.775mm，其高度定为

0.1mm，并根据仿真结果设计悬臂梁和外边框的几何尺寸。另外，关于传感元件

ROTE结构的模型参量如表1所示。表1中，dλ和gλ均被量化为入射光中心波

长的倍数。

Fig.1a—diagramofaccelerationsensorb—physicalmodeldiagram

Fig.2ModelofROTE

该加速度计可以通过标准硅微加工技术集成在硅片上，利用深反应离子刻蚀技术

［15］可以使传感器每一部分的尺寸达到相对高的精度。并且通过热氧化法

［16］、激光改进技术［17］、氢退火技术［18］等方法可以降低质量块的外表

面和隧穿层的侧壁粗糙度。通过以上分析，确定了加速度计器件设计的可行性。

Table1ParametersofROTEmodel［14］?

2传感器检测分析

根据仿真结果，宽谱光源与水平方向的夹角设定为β=105°。当一个垂直的面内加

速度作用到传感器上时，惯性力会促使中心质量块相对于外边框产生一个向上或向

下的位移量，如图3所示。以图3a为例，入射光在质量块外表面发生折射后，将

在输入层和第1层隧穿层的分界面产生初始入射角α0。当受到朝上的加速度作用

时，中心质量块会产生向上的位移ΔH，由于光源位置不变，所以入射角由α0变

为α1。同理，当加速度方向向下时，中心质量块会产生向下的位移ΔH，入射角

由α1变为α0。由几何关系得到位移量ΔH与入射角(包括α0，α1)满足以下关系

式:

式中，R(775μm)为圆形质量块的半径，γ0和γ1均是