全光纤fpi型低频振动传感器的设计与实验 .pdfVIP

中文摘要

摘要

低频振动测量技术在工程机械、车辆船舶、仪器仪表、建筑结构、地震监测等

领域有着重要作用。光纤振动传感器因具有测量范围广、灵敏度高、耐腐蚀、抗电

磁干扰等优点而成为振动传感领域新的研究热点。现有的光纤低频振动传感器大

都需要依赖外部振动响应结构，导致体积庞大，温度交叉敏感严重。随着智能时代

的到来，器件微型化是一种趋势，制作出实用的微型化光纤低频振动传感器具有较

好的现实意义。论文主要从减小光纤振动传感器体积、提升传感器的灵敏度和减小

传感器温度交叉敏感性开展研究。

从惯性式振动传感器振动模型出发，分析得到位移传感器、速度传感器和加速

度传感器的振动响应曲线，待测外界振动频率大于系统的谐振频率时，应使用位移

传感器；待测外界振动频率低于系统谐振频率时，应使用加速度传感器，因此，测

量低频振动，一般采用加速度传感器。系统的谐振频率和阻尼对加速度传感器的灵

敏度和测量范围起着关键作用，通过分析得到，谐振频率越低，传感器的灵敏度越

高；系统阻尼越大，加速度传感器的测量范围更广，但是传感器的响应度更小，灵

敏度更低。

针对现有光纤振动传感器存在的问题，按照传感器的微型化、传感器探测更灵

敏化和消除温度交叉敏感性的思路，设计了一种基于带质量块悬臂梁(Micro

cantileverbeamwithtipmass,MCBTM)全光纤法布里珀罗干涉(Fabry-Perot

Interferometer,FPI)型低频振动传感器探头。详细地介绍该传感器的制作工艺并制

作出三组不同结构的传感器探头，对低频振动传感器的测量和解调系统进行详细

介绍，结合COMSOLMultiphysics有限元仿真软件分析该传感器探头的相关特性。

通过搭建实验系统，对三根传感器进行低频振动实验。为验证石英毛细管能有

效隔离外部温度对传感器的影响，对其中一根结构做了温度实验。结果表明，质量

块可以减小传感器的谐振频率，能提高传感器的灵敏度，石英毛细管能有效隔离外

部温度对传感器的影响，进而降低传感器的温度交叉敏感性。

本文设计的基于MCBTM的全光纤FPI型低频振动传感器，具有体积小、灵

敏度高和良好的抗温度交叉敏感特性，经简单的封装保护后可方便嵌入复合材料

进行振动测量。此外，该传感器制作工艺相对简单，可重复性高，在低频振动测量

领域具有很好的实用价值。

关键词：光纤光学，全光纤器件，低频振动传感器，悬臂梁，法布里珀罗干涉仪

I

英文摘要

ABSTRACT

Low-frequencyvibrationmeasurementhasbeenplayingimportantrolesin

fieldowingtoitswidemeasurementrange,highresolution,corrosionresistanceand

frequencyofthesystem,displacementsensorshouldbeapplied,otherwise,the

aretwokeyfactors.Thelowertheresonancefrequencyofthesystem,thehigher

theresponsivityandthesensitivity.

beamwithtipmass(MCBTM)andFPIisdesigned.Thefabricationprocess,the

measurementanddemodulationsystemofthesensorisintroducedindetail.The

Experimentalsystemissetupandlow-frequencyvibrationexperimentsofthree

thequartzcapillarytubecanisolateexternaltemperatureeffectively,reducing

temperaturecross-sensitivity