超高真空磁控溅射镀膜与离子束清洗系统操作规程.pdfVIP

超高真空磁控溅射镀膜与离子束清洗系统操作规程.pdf

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超高真空磁控溅射镀膜与离子束清洗系统操作规程

一．开机

1分子泵、各磁控靶接通冷却水，检查水路是否漏水。

2各单元电源与总电源接通，总电源供电。（启动总电源前，报警选

择档指向报警；开总电源后，A、B、C灯亮）

3启动机械泵，缓慢打开旁抽阀V2，预抽溅射室。

4打开ZDF2AK复合真空计，当示数显示小于5Pa时，关闭旁抽阀

V2，打开电磁阀(有清脆的响声)，然后启动分子泵开关，待示数显

示为零时，启动START，并马上打开闸板阀G1（逆时针旋转到底

后稍微回转），开始抽高真空。

5打开计算机，进行运行参数设置。（见后面介

该用户很懒，什么也没介绍

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