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2024-12-14 发布于湖北
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mems nems 概论经典案例.ppt

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INTRODUCTIONToMEMSProf.HUMing

2024/12/13第一讲MEMS概论2第一章MEMS

概论

Chapter1.IntroductionToMEMS

1.1MEMS定义1.2MEMS特征1.3MEMS开展历史1.4MEMS涉及的主要领域

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论31.1MEMS定义

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论41.1MEMS定义

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论51.1MEMS定义

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论61.1MEMS定义

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论71.1MEMS定义

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论81.1MEMS定义在北美，微机电系统通常称为MEMS，顾名思义MEMS是由微机械和微电子线路组成的微系统。在欧洲那么通常称为微系统〔microsystem〕。在日本通常称为微机器〔micromachine〕。它们都以微小〔micro〕为特征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们常不加区别地统称为MEMS。日本国家MEMS中心〔〕给micromachine下的定义是：Amicromachineisanextremelysmallmachinecomprisingverysmall(severalmillimetersorless)yethighlysophisticatedfunctionalelementsthatallowittoperformminuteandcomplicatedtasks.[微机器是一种极其小的机器，它由非常小〔数微米或更小〕但是具有高度复杂功能的部件构成，能够完成灵巧和复杂的任务。微机器Micromachine(Japan)微型电子机械系统MicroElecoMechanicalSystem(USA)微系统MicroSystem(Europe)

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论10AwayofmakingthingsLeveragingonexistinginfrastructureofICfabricationtoolsPrototypeontheexactmass-productionfabricationtoolsCo-locationofsense,compute,actuate,control,communicate,powerIncreaseperformanceanddecreasecostIntegrateanincreasednumberoffabricationtechnologiesClosed-loop,microscalecontrolofelectrical,thermal,fluid,magnetic,optical,andmassfluxMEMSisasurfacetechnologyControlphenomenaonthemicroscaleCauselargeeffectsbothonmacroscaleandmicroscaleWhatAreMEMS?

2024/12/13第一讲MEMS/NMES概论11HighspatialresolutionandhightemporalbandwidthIntegratedsolutionsoffergreaterphysicaldensityMiniaturizedcomponentsofferfasterresponseMEMSatbothmicroscaleandmacroscaleLargearrayofMEMSonachipLargearrayofMEMS“islands〞onamacroplatformDual-scaleinterconnectproblem(integrationrequired)TherelevantsizemetricistheminimumfeaturesizeOveralldeviceorsystemsizeisirrelevantMinimumfeaturesizedetermines