一种硅片烧结炉气体抽排装置.pdfVIP

本发明公开了一种硅片烧结炉气体抽排装置，包括抽排装

置的吸风罩、位于吸风罩内的清理机构和位于吸风罩上方的过

滤装置，所述清理机构包括升降板、下端螺纹贯穿升降板的螺

纹杆、位于升降板外侧的多个连接板和角板，所述螺纹杆上端

通过轴承连接穿过吸风罩且与电机连接，所述连接板与升降板

活动连接，且所述角板与相邻的连接板活动连接且与升降板组

成田字结构，所述连接板和角板的侧壁与吸风罩的内侧壁滑动

接触，所述过滤装置包括过滤组件，所述过滤组件包括储存仓

和位于储存仓上敞口的盖板，所述储存仓内设置有倒U管和多

个输气管，本发明解决现有的片烧结炉气体抽排装置极易将火

焰抽取到吸风罩和管道内，并引燃吸风罩和管道内侧壁油脂的

问题。

摘要附图

5

6

11

1

3

4

1

权利要求书

1、一种硅片烧结炉气体抽排装置，其特征在于：包括抽排

装置的吸风罩(1)、位于吸风罩(1)内的清理机构(3)和位

于吸风罩(1)上方的过滤装置(2),所述清理机构(3)包括

升降板(32)、下端螺纹贯穿升降板(32)的螺纹杆(31)、

述螺纹杆(31)上端通过轴承连接穿过吸风罩(1)且与电机连

接，所述连接板(33)与升降板(32)活动连接，且所述角板

田字结构，所述连接板(33)和角板(34)的侧壁与吸风罩(1)

的内侧壁滑动接触，所述过滤装置(2)包括过滤组件(5),

口的盖板，所述储存仓(51)内设置有倒U管(513)和多个输

接且另一端密封穿过储存仓(51)的底板与抽风机连接，且所

述抽风机与吸风罩(1)的顶板连接，所述储存仓(51)内储存

有去油剂且倒U管(513)最上端伸入去油剂液面，所述抽风机

工作将吸风罩(1)的气体输入去油剂中且脱离去油剂的气体通

过盖板上的管道与废气燃烧塔连接。

2、根据权利要求1所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，

其特征在于，所述升降板(32)设置为十字结构，所述升降板

1

权利要求书

固定连接有卡板(322),所述连接板(33)设置为T型结构，

的弹簧与连接板(33)和升降板(32)连接。

3、根据权利要求2所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，

其特征在于，所述连接板(33)远离升降板(32)的侧壁开设

有插接槽(332),所述角板(34)设置为L型结构，所述角板

(34)两个板体分别活动插入相邻两个连接板(33)的插接槽

(332)内。

4、根据权利要求3所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，

其特征在于，所述吸风罩(1)下方设置有收集机构(4),所

仓(41)设置为矩形结构且上侧面开设有收集槽，所述收集仓

(41)上侧壁内边缘固定连接有多个弧形卡板(43),所述喷

淋管(42)设置为矩形结构且所述弧形卡板(43)套设在喷淋

管(42),且所述喷淋管(42)通过管道与外界阻燃剂和泵机

连接。

5、根据权利要求4所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，

其特征在于，所述收集仓(41)的两端均固定连接有连板(44)

外侧壁开设有卡扣槽(11),所述卡扣柱(45)安装在卡扣槽

(11)内。

2

权利要求书

6、根据权利要求5所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，

其特征在于，所述过滤装置(2)还包括两个储存机构(6),

所述过滤组件(5)还包括清理器件(52),所述清理器件(52)

位于储存仓(51)内，所述储存仓(51)的两端壁开设有输出

端外侧且正对输出孔(511),所述清理器件(52)清理去油剂

的表面移送至储存机构(6)。

7、根据权利要求6所述的一种硅片烧结炉气体抽排装置，

其特征在于，所述清理器件(52)包括双向螺杆(521)、两个

对称放置在双向螺杆(521)下方的清理板(523)和支撑器件

竖板(5223)内设置有与电机输出轴连接的调节螺杆(5224),

所述清理板(523)上端活动穿过支撑框(5221)且调节螺杆

设置