Delta台达工业自动化DIASECS 半导体设备通讯和控制应用软件产品标准兼容表产品对应SEMI标准的兼容功能说明技术文件.pdf

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DIASECSProductCompatibility

2024/12

DIASECS–GEM

StandardDescription

SEMIE4SEMIEQUIPMENTCOMMUNICATIONSSTANDARD1MESSAGETRANSFER(SECS-I)

SEMIE5SEMIEQUIPMENTCOMMUNICATIONSSTANDARD2MESSAGECONTENT(SECS-II)

GENERICMODELFORCOMMUNICATIONSANDCONTROLOF

SEMIE30

SEMIEQUIPMENT(GEM)

SEMIE37HIGH-SPEEDSECSMESSAGESERVICES(HSMS)GENERICSERVICES

DIASECSProductCompatibility

2024/12

DIASECS–GEM

SEMIE30GEMComplianceStatement

GEMComplianceStatement

FundamentalGEMRequirementsImplementedGEM-Compliant

StateModels

EquipmentProcessingStates

Host-InitiatedS1=F13/F14Scenario

EventNotification

On-LineIdentification

ErrorMessages

Documentation

Control(OperatorInitiated)

AdditionalCapabilitiesImplementedGEM-Compliant

EstablishCommunications

相近型号说明书可通用，具体看说明书包括型号

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