电子显微镜讲义TEMXX1127.pptxVIP

回顾：电子与固体的相互作用

a.背散射电子（backscatteringelectron）

二次电子(secondaryelectron)

;一、背散射电子和二次电子

;背散射电子和二次电子的区别：

性能背散射电子二次电子

来源不同：

能量不同：

测试深度不同：

分辨率不同：

与原子系数的关系：

图像信息不同：

图像阴影：;第三节

;透射电子显微镜的定义：

透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦，通过电子透过成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。

透射电子显微镜的分类

（一）根据电镜的功能：

1.普通电镜

2.高分辨电镜（HRTEM）

3.扫描透射电镜（STEM）

4.分析型电镜（AEM）等等。

;扫描透射电镜

SEM中电子射线作用于样品后，其中一部分电子可透过样品成为透射电子，将透过样品的透射电子和散射电子用检测器接收成像，即成为扫描透射电镜。这种电镜一般用场发射电子枪，兼有TEM、SEM和分析电镜的特点，能观察较厚的样品，分辨本领和成像质量都很好，是近年来电镜技术的最大改进之一。;分析电镜

分析电镜是利用电子射线轰击样品所产生的X射线或俄歇电子对样品元素进行分析的一类电镜。其特点是能在观察超微结构的同时，对样品中一个极微小的区域进行化学分析，从而在超微结构水平上测定各种细胞结构的化学成分及其变化规律。

1）分析TEM。在TEM上配备X射线能谱仪后即成为分析TEM，目前很多100KV和200KVTEM都可以装上X射线检测附件，进行样品的元素分析。

2）分析SEM。在SEM上配备X射线能谱仪后，便可兼有电子探针分析样品化学成分的功能。

3）扫描俄歇电镜。把SEM与俄歇电子能量分析仪相结合，即成为扫描俄歇电镜，它能对样品表面进行微区元素分析，是一种表面微观分析电镜。

;1.3.2根据加速电压的大小分为以下3种：

（1）一般TEM。最常用的是100KV电镜。这种电镜分辨率高（点0.3nm，晶格0.14nm），但穿透本领小，观察样品必须很薄，约为30～100nm，如细胞和组织的超薄切片、复型膜和负染样品等。相当普及。我校有这样的设备，分??率达到0.2nm。

（2）高压TEM。目前常用的是200KV或300KV电镜。这种电镜对样品的穿透本领约为100KV电镜的1.6倍以上，可以在观察较厚样品时获得很好的分辨本领，从而可以对样品的结构进行三维观察，200KV分辨率可达到0.19nm。

（3）超高压TEM。目前已有500KV、1000KV和3000KV的超高压TEM。这类电镜具有穿透本领强、辐射损伤小、可以配备环境样品室及进行各种动态观察等优点，1000KV分辨率也已达到0.1nm。;常规透射电镜:120kV（200KV）；

测试样品厚度小于100nm；

低超高压电镜：200-500kV；

测试样品厚度大于200nm；

超高压电镜：500-1000kV；

测试样品厚度达到7微米；

高超高压电镜：大于1000kV。;电子显微镜讲义TEMXX1127;透射电子显微镜的结构

透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。

主要包括以下几个部分:;2.1.1照明系统

①组成：

由电子枪、聚光镜（1、2级）和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。

②作用：提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要，照明束可在2°-3°范围内倾斜。

;栅极的作用：限制和稳定电流。

从电子枪发射出的电子束，束斑尺寸大，相干性差，平行度差，为此，需进一步会聚成近似平行的照明束，这个任务由聚光镜实现，通常有两级聚光镜来聚焦。

;2.聚光镜

聚光镜的作用是会聚电子枪发射出的电子束，调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般采用双聚光镜系统，如图所示。

1.为了调整束斑大小，在C2聚光镜下装一个聚光镜光栏。通常经二级聚光后可获得几um的电子束斑；

2.为了减小像散，在C2下还要装一个消像散器，以校正磁场成轴对称性的.;电子显微镜讲义TEMXX1127;2.1.2.成像系统

由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜（1、2）和投影镜组成

1.物镜

a?用来获得第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。电镜的分辨率主要取决于物镜，必须尽可能降低像