TCCGA30009电子级混合气体配制技术要求.pdf

ICS71.100.20

CCSJ74

CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA30009—XXXX

电子级混合气体配制技术要求

Technicalrequirementsforpreparationofelectronicgasesmixture

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA30009—XXXX

电子级混合气体配制技术要求

1范围

本文件规定了电子级混和气体的配制或生产的基本要求、设备实施要求、技术要求及配制要求。

本文件适用于电子级混和气体的配制或生产。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T4844纯氦、高纯氦和超纯氦

GB/T5099（全部）钢质无缝气瓶

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T11640铝合金无缝气瓶

GB/T15382气瓶阀通用技术要求

GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

GB/T34526-2017混合气体气瓶充装规定

GB/T34710混合气体分类

TSG07特种设备生产和充装单位许可规则

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA10013实验室气体安全导则

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

T/CCGA90001氧气或富氧场所的火灾危险

T/CCGA90002惰性气体或缺氧场所的危险

3术语和定义

GB/T34710、GB/T34526-2017界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电子级混合气体electronicgasesmixture

指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的电子级气体。

4基本要求

4.1人员要求

4.1.1所有电子级混和气体配制人员及相关人员均应经培训考核合格，掌握电子级混合气体配制的技

术和安全要求。

4.1.2电子级混和气体配制人员及配制前后检查人员，还应取得特种设备作业人员资格证书。

4.1.3质量安全员、质量安全总监应按要求，经过专业技术培训合格，掌握质量相关法规标准，落实

产品质量安全责任的行为及其监督管理。

4.1.4质量检验员及与充装介质相适应的分析检验人员，应取得相应的质量检验资格证书或能力评价

证书。

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4.2配制机构要求

4.2.1配制机构应满足TSG23、TSG07规定的要求。

4.2.2除一般性气体配制一般性电子级混合气体外，应按TSG07取得充装许可证。

5设备设施要求

5.1电子级混合气体配制机构应具备GB/T34526-2017中7.1要求的设备设施，使用的压力表精度应

不低于2.5级。

5.2电子级混合气体配制系统、气瓶及瓶阀应满足配气的需要，其材质、材料应不与电子级混合气体

中的组分发生任何化学反应，且不影