洁净室介绍课件.pptVIP

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什么是洁净室?;半导体工厂洁净室示意图;洁净室的空调系统及其气流组织形式;洁净室的构造是怎样的?;洁净室的洁净度是如何确定的?;在太平洋中游弋的一条鲣鱼;尘埃粒子直径的示意图;洁净室的洁净度是如何维持的?;HEPAFilter高效过滤器——

HighEfficiencyParticulateAirFilter;过滤器去除灰尘的效率如何呢?(举例);灰尘又是如何产生的呢?;洁净室的四原则;除了灰尘还要防止什么呢?;这些化学物质有什么危害呢?;化学物质又是如何产生的呢?;知道洁净室内为什么要随手关门的道理了吗?;0;活性炭是如何吸附化学物质的呢?;化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系举例;有了HEPA、ULPA,还要进行新风的空气净化(湿度控制);洁净室的温度是如何控制的?;洁净室的热负荷从哪里来?;洁净室为什么还要控制压差?;HHNEC洁净室的断面示意图;自动洗手装置;洁净室配套设施——高灵敏度烟感探测器;洁净室配套设施——紧急排气/烟系统;设备冷却水系统构成图;冷冻水系统;冷冻水系统构成图

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