UV-LED器件不同金属结构体系的接触电阻性能研究.docx

摘要

毕设题目：UV-LED器件不同金属结构体系的接触电阻性能研究

摘要

GaN基LED由于其功耗低、效率高、节能环保、寿命长等优点，在照明领域发挥着越来越重要的作用。尽管在可见光领域GaN基LED已经日渐成熟，但其他领域的研究应用还亟待发展，近年来UV-LED因为其广泛的应用和良好的发展前景开始受到人们的广泛关注。目前市面上LED结构主要为水平结构与倒装结构，相比这两种结构，垂直结构LED具有散热性高、电子注入效果好等优点，能有效地解决电流拥堵效应，是UV-LED器件的良好解决方案。然而由于UV-LED的GaN掺杂了Al组分，以及垂直结构LED本身的工艺难度，要制作低接触电阻率