智能传感与检测技术 课件 第2章电容式传感器.pptx

机械工业出版社CHINAMACHINEPRESS电容传感器第2章智能传感与检测技术徐小华主编ISBN978-7-111-76072-6

电容传感器02智能传感与检测技术电容式传感器的原理与结构2.1电容式传感器的测量转换电路2.2电容式传感器的应用实例2.3

2.1电容传感器的原理与结构请输入您的标题电容传感器02电容传感器的工作原理可以用平板电容器来说明。当忽略边缘效应时，其电容为：式中A——两极板相互遮盖的有效面积（m2）；d——两极板间的距离，也称为极距（m）；ε——两极板间介质的介电常数（F/m）；εr——两极板间介质的相对介电常数；ε0——真空介电常数,ε0=8.85?10-12(F/m)智能传感与检测技术

电容传感器02由式可知，电容量C与A、d、ε三个参量有关。当改变A、d、ε三个参量中的任意一个量，都会引起电容C的变化。若保持其中任意两个参量不变，只改变另一个参量，那么该参量的变化就能转换为电容量的变化，这就是电容传感器的基本工作原理。2.1电容传感器的原理与结构智能传感与检测技术

电容传感器02根据引起电容量变化的参量的不同，电容传感器可以分为三种类型：改变遮盖面积型电容传感器变极距型电容传感器变介电常数型电容传感器2.1电容传感器的原理与结构智能传感与检测技术

2.1.1变遮盖面积型电容式传感器电容传感器02图（a）是直线位移式结构，极板A固定不动，称为定极板，极板B能够左右移动，称为动极板，与被测物相连。当被测物移动时会带动极板B发生位移，从而改变与定极板A的相互遮盖面积，使两极板间的电容量发生变化。图（b）是角位移式结构，当动极板围着转轴发生旋转时，两极板的遮盖面积会发生变化。2.1电容传感器的原理与结构智能传感与检测技术

2.1.2变极距型电容式传感器电容传感器02当动极板随着被测物体发生位移时，两极板之间的距离d就会发生变化，从而使电容量发生变化。实际使用时，总是使初始极距d0尽量小些，以提高灵敏度，但这也带来了变极距式电容器的行程较小的缺点。2.1电容传感器的原理与结构智能传感与检测技术

2.1.2变极距型电容式传感器电容传感器02一般变极距型电容传感器的起始电容在20-30pF，极板间距在25-200um，最大位移通常小于极距的1/10。所以，在实际应用时，为了减小非线性，提高灵敏度，多采用差动式结构，如图所示。在差动式变极距型电容传感器中，上下两个极板为定极板，中间极板为动极板。当动极板向上移动后，C1的极距变减小，电容量增加，而C2的极距增大，电容量减小，二者形成差动变化，经测量转换电路后，其灵敏度提高1倍，非线性误差也会大大降低。此外，差动式电容传感器能减小由引力给测量带来的影响，并有效地改善由于温度等环境影响所造成的误差。2.1电容传感器的原理与结构智能传感与检测技术

2.1.3变介电常数型电容式传感器电容传感器02因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。变介电常数型电容式传感器可以用来测量位移、液位、物位等参数。上下两极板保持相互遮盖面积和极距不变，相对介电常数为εr2的电介质插入电容器中的深度发生变化时，两种介质的极板覆盖面积也会发生变化，从而使电容器的电容量发生变化。被测介质εr2进入极板间的深度与引起电容量的变化成线性关系。2.1电容传感器的原理与结构智能传感与检测技术

2.1.3变介电常数型电容式传感器电容传感器02表中给出了几种介质的相对介电常数介质相对介电常数介质相对介电常数真空1干的纸2-4空气略大于1干的谷物3-5聚四氟乙烯2.0云母5-8聚丙烯2-2.2二氧化硅38聚苯乙烯2.4-2.6高频陶瓷10-160硅油2-3.5纯净的水80聚偏二氟乙烯3-5压电陶瓷、低频陶瓷1000-10000盐6纤维素3.92.1电容传感器的原理与结构

2.2.1调频电路电容传感器02调频电路是将电容传感器作为LC振荡器谐振回路的一部分，振荡器的频率受电容传感器电容的调制。当被测参数变化导致电容量发生变化时，LC振荡器的振荡频率就会发生变化，从而实现C/f转换。图为振荡器调频电路方框图，振荡器输出频率的变化在鉴频器中转化电压幅度的变化，经过放大器放大、检波之后就可以用仪表指示或用记录仪器记录下来。2.2电容传感器的测量转换电路智能传感与检测技术

2.2.1调频电路电容传感器02振荡器的振荡频率由下式决定：式中L——振荡回路的固定电感C——振荡回路总电容C包括振荡回路的固有电容、传感器的引线分布电容以及传感器的电容，即2.2电容传感器的测量