智能传感与检测技术 课件 第4章压电式传感器.pptx

机械工业出版社CHINAMACHINEPRESS压电式传感器第4章智能传感与检测技术徐小华主编ISBN978-7-111-76072-6

压电式传感器4智能传感与检测技术压电元件与压电效应4.1压电传感器的结构4.2压电传感器的等效电路和测量电路4.3压电式传感器应用实例4.4

压电式传感器044.1.1压电元件4.1.2压电效应智能传感与检测技术4.1压电元件与压电效应式传感器

压电式传感器04压电式传感器中的压电元件一般有三类：压电晶体（单晶体）经过极化处理的压电陶瓷（多晶体）高分子压电材料4.1.1压电元件智能传感与检测技术

压电式传感器04石英（SiO2）晶体结晶形状为六角形晶柱。一、石英晶体智能传感与检测技术

压电式传感器04石英晶体是一种性能良好的压电晶体，它的突出优点是性能非常稳定。在20~200℃的范围内压电常数的变化率只有-0.0001/℃。此外，它还具有自振频率高、动态响应好、机械强度高、绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性范围宽等优点。石英晶体的不足之处是压电常数较小（d=2.31×10-1C/N）。因此石英晶体大多只在标准传感器、高准确度传感器或使用温度较高的传感器中使用。智能传感与检测技术

压电式传感器04压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。二、压电陶瓷智能传感与检测技术

压电式传感器04压电陶瓷由无数细微的电畴组成。在无外电场作用时，各个电畴在晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消了，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。为了使压电陶瓷具有压电效应，必须在一定温度下做极化处理。极化处理之后，陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化强度，当压电陶瓷受外力作用时，其表面也能产生电荷，所以压电陶瓷也具有压电效应。a）极化处理前电畴杂乱分布b）在极化电压下的电畴分布c）冷却、稳定后的电畴分布智能传感与检测技术

压电式传感器04压电陶瓷的优点是烧制方便、易成型、耐湿、耐高温。缺点是具有热释电性，会对力学量测量造成干扰。常用的压电陶瓷材料主要有以下两种：锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）非铅系压电陶瓷智能传感与检测技术

压电式传感器04典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯、聚氟乙烯、改性聚氯乙烯等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。优点是不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，测量动态范围大，频率响应范围较宽。缺点是工作温度一般低于100℃，温度升高时，灵敏度将降低。它的机械强度不够高，耐紫外线能力较差，不宜暴晒，以免老化。三、高分子压电材料智能传感与检测技术

压电式传感器04压电效应可分为正压电效应和逆压电效应。正压电效应：某些物质，当沿着一定方向对其加力而使其变形时，在一定表面上将产生电荷，当外力去掉后，又重新回到正常的不带电状态，这种现象称为正压电效应。逆压电效应：如果在这些物质的极化方向施加电场，这些物质就在一定方向上产生机械变形或机械应力，当外电场撤去时，这些变形或应力也随之消失，这种现象称之为逆压电效应，或称之为电致伸缩效应。4.1.2压电效应智能传感与检测技术

压电式传感器04石英晶体的三个轴：纵向轴称为光轴，也称z轴，有折光效应，没有压电效应经过正六面体棱线，并垂直于光轴的轴线称为电轴，也称x轴经过正六面体的棱面且垂直于光轴的轴线称为机械轴，也称y轴智能传感与检测技术

压电式传感器04石英晶体的三个面：垂直于光轴（z轴）的面称为z面垂直于电轴（x轴）的面称为x面垂直于机械轴（y轴）的面称为y面电荷只产生在与x轴垂直的x面的前后两侧。智能传感与检测技术

压电式传感器04石英晶体的x、y轴向受力产生电荷比较：在x轴方向上施加压力Fx时，在x面上产生的电荷：式中d11为x方向受力的压电系数。在y轴方向施加压力Fy时，则仍在x面上产生电荷：式中d12为y轴方向受力的压电系数，l、δ为石英晶片的长度和厚度。根据石英晶体的对称性，d12=-d11；电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。智能传感与检测技术

压电式传感器04当石英晶体未受外力作用时，如图（a）所示，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。因为P=ql,q为电荷量，l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。石英晶体压电模型(a)不受力时(b)x轴方向受力(c)y轴方向受力