网站大量收购闲置独家精品文档,联系QQ:2885784924

蒸发法真空镀膜实验讲义.pdfVIP

  1. 1、本文档共7页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多

先天下之忧而忧,后天下之乐而乐。——范仲淹

真空镀膜

实验目的

掌握真空镀膜的原理和正确操作。

实验原理

薄膜材料制备及应用

薄膜材料的制备是材料科学的一个分支,薄膜制备大体上分为:

化学气相沉积(chemicalvapordeposition;CVD)

–借助空间气相化学反应在衬底表面上沉积固态薄膜。

物理气相沉积(physicalvapordeposition;PVD)

–用物理方法将源物质转移到气相中,在衬底表面上沉积固态薄膜。

主要包括:真空蒸发;溅射;分子束外延等方法。

其中,熔点低于2000K的金属才能用于蒸发镀膜,难熔金属应采用溅射法镀膜。另外,由于有些金

属会和蒸发源形成合金,故原则上每种镀材应有专用的蒸发源。

真空镀膜是将固体材料置于真空室内,在真空条件下,将固体材料加热蒸发,蒸发出来的原子或分

子能自由地弥布到容器的内部空间中。当把一些加工好的基板材料放在其中时,蒸发出来的原子或分子

就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。真空镀膜有两种方法,一是蒸发,一是溅射。本实验采用蒸发的方

法,即在真空中把铝材加热蒸发,使其淀积在基片的表面上形成铝膜。

铝膜的优点和应用:

–与硅基片、SiO2层、玻璃及陶瓷基片有较好的附着力,不易脱落。

–电导率高,与N型、P型硅的接触势垒低,容易形成欧姆接触。

–对抗蚀剂的选择性好,容易光刻和采用活性离子刻蚀。

–与金丝、铝丝的可焊性好,适宜于热压焊和超声焊。

–铝膜对气体有较好的阻隔性。

先天下之忧而忧,后天下之乐而乐。——范仲淹

–铝膜富有金属光泽,可作为装饰涂层。

–铝膜反射率较高,可遮挡紫外线,可作为防紫外涂层。

–高纯度铝成本底,易于蒸发或溅射,可获得高纯度的铝膜。

真空系统(DM—300B镀膜机)

蒸发源

蒸发源的形状如下图,大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等

先天下之忧而忧,后天下之乐而乐。——范仲淹

蒸发源选取原则

1有良好的热稳定性,化学性质不活泼,达到蒸发温度时加热器本身的蒸汽压要足够低。

2蒸发源的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度。加热器要有足够大的热容量。

3蒸发物质和蒸发源材料的互熔性必须很低,不易形成合金。

4要求线圈状蒸发源所用材料能与蒸发材料有良好的浸润,有较大的表面张力。

5对于不易制成丝状、或蒸发材料与丝状蒸发源的表面张力较小时,可采用舟状蒸发源。

实验简要步骤

1.清洗钨丝、载玻片和铝丝。

2检查钨丝的固定情况及处在钟罩内的电极的位置,并加入铝丝。

-2

3抽至真空度达1.5x10Pa以上,开始蒸发镀膜。

4镀膜完成后,处理真空机组的后续工作。

思考题

1扩散泵启动前必须要有机械泵提供的前级真空度几pa以上,否则就会使

(a)扩散泵不能正常工作(b)扩散泵抽速降低(c)扩散泵返油

2打开钟罩之前,必须充大气,这是为了

(a)用大气冷却基片(b)升钟罩时不损坏升降电机(c)大气可以保护钟罩

3我们使用的DM-300真空镀膜机,为什么在机械泵和扩散泵之间要加储气罐?

先天下之忧而忧,后天下之乐而乐。——范仲淹

本实验重点

1.掌握DM-300B镀膜机的真空系统结构及正确操作

2.掌握好蒸发电流和蒸发时间(这是镀膜质量好坏的关键)。

本实验要点

1.基片样品的清洁处理制作

2.蒸发电流和蒸发时间的掌握,为避

文档评论(0)

151****6154 + 关注
实名认证
文档贡献者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档