半导体用陶瓷静电卡盘市场调查，全球前18强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.docx

全球市场研究报告

全球市场研究报告

半导体用陶瓷静电卡盘全球市场总体规模

半导体用陶瓷静电卡盘是一种在半导体制造过程中用来固定和支撑硅片或其他半导体材料基板的装置。它通过静电吸引力将晶圆等基板牢牢地吸附在其表面上，确保在进行薄膜沉积、蚀刻、光刻等高精度工艺时基板能够保持稳定不动。与平板显示器用电静电卡盘类似，但针对的是更小尺寸且对清洁度要求极高的半导体晶圆。

主要特点：

1.高精度定位：提供极其稳定的基板固定能力，保证了加工过程中的精确定位。

2.耐高温性能：由于许多半导体加工步骤需要在高温环境下进行，因此这些卡盘通常具有良好的热稳定性。

3.低污染特性：为了防止对敏感的半导体材料造成污染，这类卡盘采用特殊材料制成，如氧化铝或氮化铝陶瓷，它们不仅耐腐蚀而且能有效减少颗粒物产生。

4.温度控制：部分高级型号还集成了加热或冷却系统，以满足特定工艺对温度控制的需求。

5.适用于多种环境：能够在高真空条件及不同气体氛围下正常工作。

工作原理：

1.当施加一定电压于卡盘表面与被固定的晶圆之间时，会产生静电力从而吸引并紧紧握住晶圆。

2.释放晶圆时只需移除电场即可轻松取下。

半导体用陶瓷静电卡盘产品图片

资料来源：第三方资料及QYResearch整理研究，2024年

陶瓷型静电吸盘（ESCs）在半导体市场近年来见证了显著的增长和演变，这一趋势是由半导体器件和先进制造工艺需求的不断增长所推动的。静电吸盘在半导体制造中发挥着关键作用，提供了精确可靠的晶圆处理能力，这对于实现高生产力和良率至关重要。

根据QYResearch发布的新的市场研究报告《2024-2030年全球半导体市场陶瓷型静电吸盘（ESCs）报告》，全球半导体市场陶瓷型静电吸盘（ESCs）的市场规模预计将在2030年达到16.4亿美元，预测期间复合年增长率为5.5%。

目前，陶瓷型静电吸盘（ESCs）在半导体行业由日本公司主导。日本公司掌握了成熟的技术。许多国家需要从日本进口，如中国、台湾、美国等。中国在半导体静电吸盘（ESCs）领域已经实现了某些技术突破。中国企业北京华卓精科和河北中瓷电子科技的静电吸盘技术更新已达到标准和客户接受要求。

在2023年，SHINKO、NGKInsulators和NTKCERATEC占据了陶瓷型静电吸盘（ESCs）在半导体市场的收入份额前三名。SHINKO以21.70%的市场收入份额占据主导地位，其次是NGKInsulators，收入份额为19.63%，NTKCERATEC的收入份额为14.82%。

总之，随着半导体行业的扩张、技术进步和先进材料的日益采用，陶瓷型静电吸盘（ESCs）在半导体市场有望继续增长。随着制造商专注于提高晶圆处理能力和良率，半导体制造设备中的静电吸盘（ESCs）将仍然是关键组件，将在未来几年内维持市场的势头。半导体制造设备行业对静电吸盘的需求有更大的影响。随着半导体行业的大量投资，我们对静电吸盘行业的未来持乐观态度。

半导体用陶瓷静电卡盘，全球市场总体规模

7.3%来源：QYResearch电子研究中心

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全球半导体用陶瓷静电卡盘市场前18强生产商排名及市场占有率（基于2023年调研数据；目前最新数据以本公司最新调研数据为准）

来源：QYResearch电子研究中心。行业处于不断变动之中，最新数据请联系QYResearch咨询。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内半导体用陶瓷型静电卡盘生产商主要包括SHINKO、NGKInsulators、NTKCERATEC、TOTO、SumitomoOsakaCement、Entegris、LKENGINEERING、Kyocera、TechneticsGroup、CreativeTechnologyCorporation等。2022年，全球前十强厂商占有大约92.0%的市场份额。

半导体用陶瓷静电卡盘，全球市场规模，按产品类型细分，库伦型处于主导地位

来源：QYResearch电子研究中心

就产品类型而言，目前库仑型是最主要的细分产品，占据大约69.0%的份额。

半导体用陶瓷静电卡盘，全球市场规模，按应用细分，300毫米晶圆是最大的下游市场，占有80.4%的份额。

来源：QYResearch电子研究中心

就产品应用而言，目前300毫米晶圆是最主要的需求来源，占据大约80.4%的份额。

全球主要市场半导体用陶瓷静电卡盘规模

来源：QYResearch电子研究中心

QYResearch将持续关注行业动态，为投资者和业内人士提供最新、最全面的市场分析和趋势预测。更多行业资料建议查看恒州博智研究中心出版的相关报告。