【国家自然科学基金】_射频磁控溅射法_基金支持热词逐年推荐_【万方软.pdf

2008年2009年

序号科研热词推荐指数序号科研热词

1磁控溅射101射频磁控溅射

2射频磁控溅射92磁控溅射

3薄膜53薄膜

4退火44zno薄膜

5负热膨胀45退火

6射频磁控反应溅射46陶瓷靶材

7锐钛矿37透过率

8钨酸锆38磁光性能

9金红石39电阻率

10光致发光310溅射功率

11zno薄膜311折射率

12被动调q212射频溅射

13纳米硅镶嵌氮化硅薄膜213外延生长

14激光技术214原子力显微镜

15显微结构215光致发光

16x射线衍射216倾斜扫描(std)

17nd∶yag激光器217gdtbfeco

18高择优取向118aln靶

19非晶薄膜119afm

20镍酸镧薄膜120阻挡层

21铁电薄膜121镍酸镧缓冲层

22铁电性能122锑

23钨酸锆薄膜123锂离子电池

24量子限域效应124银

25输运特性125铜互连

26表面形态126钨酸锆

27薄膜体声波谐振器127钛酸锶钡薄膜

28组分影响128钛-铝薄膜

29磁特性129量子