γ—Al2O3薄膜的制备与应用 .pdf

维普资讯

２００２年３期南建材５

Ａ１２Ｏ３薄膜的制备与应用

—

张英徐晓虹吴建锋汪圣龙杨惠珍武汉理工大学材料学院（４３００７０）

摘要介绍了７一２ｏ３陶瓷膜的几种常用制备方法及其在饮料加工、污水处理、气体分离及催化膜反应器等方面的

应用，对７一２ｏ３膜的应用前景进行了展望。

关键词７一ｏ３膜制备应用

无机陶瓷膜按物质组成可分为氧化铝膜、氧化的影响；③干燥过程产生的应力对膜的影响；④烧结、

钛膜、氧化锆膜、氧化硅膜等，其中多孔氧化铝膜的热处理过程对孔径的影响；⑤支撑体的性质。

制备最为广泛。这是因为氧化铝自身的许多优良特１．２阳极氧化法【ＩＩＪ

性，如化学稳定性、高的机械强度、耐腐蚀、透明性、阳极氧化法是将高纯度金属箔（如铝箔）置于酸

良好的介电性及光学性能等，其制成的膜被广泛用性电解质溶液如（Ｈ２ＳＯ４，Ｈ３ＰＯ４）中进行电解，阳极

于分离过滤、微电子应用方面…。氧化。制出的膜具有近似直孔的结构，控制好电解

现将７一Ａ１２０３薄膜的制备与应用的有关情况氧化过程．可以得到对称和非对称两种孔结构的氧

简介如下：化铝膜，以提高铝制品表面耐磨、耐腐蚀、着色等性

１７一２Ｏ３薄膜的制备能。近年来，国内外的一些学者已经用铝的阳极氧

化法制备出Ａｂ超滤和微孔过滤膜，用这种方法

氧化铝薄膜的制备有溶胶一凝胶法、阳极氧化制成的膜孔径分布范围大、孔隙率高。

法、化学气相沉积法、带式成型法，、固态粒子１．３化学气相沉积法

烧结法、原位合成法、磁控溅射法等多种方法。化学气相沉积技术（ＣＶＤ）已在半导体集成电

１．１溶胶一凝胶法路的制造等领域得到广泛的应用，它也同样适用于

溶胶一凝胶法是以醇盐或无机盐为原料，在一氧化铝分离膜的制备，并可用来修饰氧化铝膜［１２】，

定介质和催化剂存在的条件下，进行水解一缩聚反其特点是可控制微孔膜的孔径。ＣＶＤ法制备氧化

应，使溶液由溶胶变成凝胶，再经干燥、热处理制得铝分离膜的反应如下：

多孔无机膜，如图１所示。其特点是低温合成，原料２ＡＩＣ１３（ｇ）＋３Ｈ２Ｏ（ｇ）——２ＡＪ２Ｏ＋６ＨＣＩ（ｇ）

可以在分子水平上混合。用溶胶一凝胶法可制备出上述反应在高温下进行，载体孔径为３～１０ｎｍ，

多孔性的薄膜，膜的孔隙率随着热处理温度的升高反应物先吸附在载体表面或微孔内，再发生表面反

而减少。近年来，溶胶一凝胶法广泛应用于制备纳