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三维共焦检测方法的理论研究.doc

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    东北电力大学本科毕业论文

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    三维共焦检测方法的理论研究

    摘要

    摘要

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    摘要

    随着工业科技水平的不断提升，各式各样的精密元件日益增多，传统的材料检测方法已不能满足高分辨率、高精度、高效率的材料检测需求，这就要求检测设备具有更高的检测水平。基于这种环境下，本文将开展对传统共焦检测技术、差动共焦检测技术、彩色光谱共焦检测技术这三种近年来广为应用的三维共焦检测方法的深入探究。

    本文首先对三种共焦检测技术成像系统的结构进行了探究，分析了具体的成像检测机理，对三种检测方法各自的优缺点进行了总结

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