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君子忧道不忧贫。——孔丘
纳米电子器件加工工艺考核试卷
考生姓名：__________答题日期：_______年__月__日得分：_________判卷人：_________
一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只
有一项是符合题目要求的）
1.纳米电子器件中最常见的加工方法是什么？（）
A.光刻法
B.化学气相沉积
C.纳米压印技术
D.电子束曝光
2.以下哪种材料常用作纳米电子器件的光刻胶？（）
A.硅胶
B.光刻胶
C.聚酰亚胺
D.水
3.纳米电子器件加工过程中，下列哪个步骤用于去除多余的光刻胶？（）
A.蚀刻
B.热处理
C.清洗
D.氧化
4.以下哪个技术可以实现纳米级别的线条加工？（）
A.电子束光刻
B.光学光刻
C.离子束蚀刻
D.化学气相沉积
5.下列哪种纳米加工技术是基于压印原理的？（）
A.纳米压印技术
B.光学光刻
C.电子束光刻
D.离子束蚀刻
6.纳米电子器件加工过程中，下列哪个步骤用于形成导电线路？（）
A.光刻
B.蚀刻
C.化学气相沉积
D.清洗
7.以下哪个材料不适合用于纳米电子器件的导电线路？（）
A.铜
B.铝
C.硅
D.金
8.以下哪个材料常用于纳米电子器件的绝缘层？（）
A.硅
B.硅氧烷
C.铜
君子忧道不忧贫。——孔丘
D.铝
9.下列哪种纳米加工技术可以实现三维结构的加工？（）
A.光学光刻
B.电子束光刻
C.纳米压印技术
D.离子束蚀刻
10.在纳米电子器件加工中，下列哪个步骤用于形成纳米孔洞结构？（）
A.光刻
B.化学气相沉积
C.电子束曝光
D.离子束蚀刻
11.以下哪个参数会影响纳米电子器件的光刻精度？（）
A.光刻胶的灵敏度
B.光源波长
C.光刻机镜头的数值孔径
D.所有以上选项
12.下列哪种方法可以用于检测纳米电子器件加工过程中的缺陷？（）
A.扫描电子显微镜
B.傅立叶变换红外光谱
C.透射电子显微镜
D.所有以上选项
13.以下哪个因素会影响纳米电子器件的电学性能？（）
A.导电线路的宽度
B.导电线路的间距
C.绝缘层的厚度
D.所有以上选项
14.在纳米电子器件加工中，下列哪个步骤可能导致环境污染？（）
A.光刻
B.蚀刻
C.化学气相沉积
D.清洗
15.以下哪个材料可以用作纳米电子器件的压印模板？（）
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