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实验报告81
10+43+28=81
06系06级:日期3月22号NO:P
试验题目:高真空的获得和检漏
试验目的:1、学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空;
2、用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特
点。
试验原理:1、高真空的测量——电离真空规
具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子
和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即
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