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WS2xSe2（1-x）/Si异质结光电探测器及其性能研究

摘要：二维材料WS2xSe2（1-x）薄膜具有独特的结构和出色的物理特性，在光电探测领域拥有广阔的应用前景，是下一代光电子器件的理想构筑材料。本文主要讨论的问题为：介绍磁控溅射仪和化学气相沉积法（CVD），以SiO2/Si为衬底制作WSSe薄膜。使用电子扫描显微镜等仪器对其表面形态和微观结构进行观察，确定二维WSSe薄膜的品质。然后以此为基础构筑WSSe器件，研究该器件的光电性能，对其在光电探测器上的应用做出一定的指导。关键词：WSSe；二维材料；磁控溅射；化学气相沉积法（CVD）；光电性能

1绪论

1.1石墨烯