改良西门子法热氢化反应模拟及工艺参数优化.docx

第49卷第6期氯碱工业Vol.49,No.6

2013年6月Chlor-AlkaliIndustryJun.,2013

【产品】

改良西门子法热氢化反应模拟及工艺参数优化

马卓煌*1,宋东明12,陈丽娟,潘红星,朱明

(1.昆明冶研新材料股份有限公司，云南曲靖655011;

2.昆明理工大学冶金与能源工程学院，云南昆明650093)

[关键词]多晶硅；改良西门子法；热氢化反应；正交设计；工艺参数

[摘要]介绍了改良西门子法多晶硅生产工艺。利用AspenPlus对改良西门子法中的热氢化反应进行模拟，研究了反应温度、反应压力和进料配比对三氯氢硅收率的影响，得出进料配比是影响三氯氢硅收率最重要的因素，并运用正交设计的方法找出最优工艺参数，从而指导实际生产。

[中图分类号]TQ127.2[文献标志码]A[文章编号]1008-133X(2013)06-0026-04

SimulationofmodifiedSiemensthermalhydrogenationandoptimizationofprocessparameters

MAZhuohuang1,SONGDongming2,CHENLijiuan,PANHongxing1,ZHUMing1

(1.KunmingYeyanNew-MaterialCo.,Lud.,Qujing655011,China;2.FacultyofMetallurgicaland

EnergyEngineering,KunmingUniversityofScienceandTechnology,Kuning650093,China)

Keywords:polycrystallinesilicon;modifiedSiemensprocess;thermalhydrogenation;orthogonal

design;processparameter

Abstract:ThemodifiedSiemensprocessforpolycrystallinesiliconproductionwasintroduced.AspenPluswasadoptedtosimulatethethermalhydrogenationinthemodifiedSiemensprocess.Theeffectsofreactiontemperature,reactionpressureandfeedratioontheyieldoftrichlorosilanewerestudied.Thefeedratiowasfoundtobethekeyfactorofaffectingtheyieldoftrichlorosilane.Theoptimalprocessparametersweredeterminedbyusingorthogonaldesigntoguidepracticaloperation.

目前太阳能级多晶硅的主要生产方法为改良西门子法。为了提高原料利用率，减少环境污染，改良西门子法采用闭环生产工艺1,而热氢化是闭环生产中不可缺少的环节。在多晶硅生产中，每生产1t多晶硅产生18~20t副产品四氯化硅，为了实现闭环生产，须将副产物四氯化硅转化成原料三氯氢硅。热氢化是将四氯化硅转化成三氯氢硅的一种方法，国际领先的多晶硅生产厂如德国瓦克化学有限公司即采用该种方法转化副产物四氯化硅。

在实际多晶硅生产中，往往由于热氢化转化的

三氯氢硅收率较低，而导致副产物四氯化硅无法处理，在多晶硅制造成本上升的同时也带来了环境污染的隐患。

本试验利用化工流程模拟软件AspenPlus建立热氢化反应的热力学模型，并采用正交统计方法对试验模拟数据进行分析整理，通过试验，优化了四氯化硅热氢化的工艺参数，获得了热氢化的温度、压力、物料配比等最佳工艺参数。为解决实际生产中三氯氢硅收率较低的问题提供了参考，对降低多晶硅生产成本，增加产品的市场竞争力具有重要意义。

[作者简介]马卓煌(19