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《CVD石墨烯传感器的制备及其性能研究》
一、引言
随着科技的不断进步,传感器技术已成为众多领域中不可或缺的一部分。其中,石墨烯传感器因其独特的物理和化学性质,如高导电性、高灵敏度等,在生物医学、环境监测、电子设备等领域中得到了广泛的应用。本文将详细介绍CVD(化学气相沉积)石墨烯传感器的制备过程,并对其性能进行深入研究。
二、CVD石墨烯传感器的制备
1.材料准备
制备CVD石墨烯传感器需要准备的材料包括铜箔、甲烷、氢气等。其中,铜箔作为生长基底,甲烷和氢气则作为反应气体。
2.制备过程
(1)将铜箔放置在CVD反应室内,并进行预处理,如清洗和预热。
(2)将甲烷和氢气混合后通入反应室,
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