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摘要
摘要
金属微纳结构在光电子器件、生物医学、能源转换与存储、传感器与检测
等领域具有重要的地位，因此金属微纳结构器件的制备技术及工艺有了更高的
要求。金属铝的制造工艺虽然已经得到了广泛的研究和应用，但在实际制造过
程中实现低成本，高精度的铝微纳结构仍然面临一些挑战和难关，如工艺复杂、
加工成本高等问题。
基于以上的问题，本论文通过对光致抗蚀剂AZ5214E、电子束抗蚀剂
PMMA进行完整的工艺参数分析且通
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