针对微流控芯片预键合的对准机构系统研究.docx

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2025-01-08 发布于湖北
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针对微流控芯片预键合的对准机构系统研究.docx

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针对微流控芯片预键合的对准机构系统研究

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摘要

微流控芯片在很多领域都有应用，它未来的发展前景可能会影响或着说改变现有的许多生物方面、化学的检测方法，将会是一个具有颠覆性的一门新技术。这里面，微流控芯片制作的材料有特别多的种类，玻璃具有很好电渗性质，还有优良化学的性质，所以玻璃目前被广泛的应用在芯片的制作上面。本文讲以玻璃为主要材料，作为对微流控芯片预键合的对准机构进行设计，该设计在结构上采用滚珠丝杠导轨实现了XYZ三个自由度方向的移动采用齿轮传动机构来实现旋转方向的移动，在驱动和控制上采用直流伺服电机、伺服放大器和P