全面解读GBT+44919-2024：微机电系统（MEMS）薄膜力学性能鼓胀试验新标准.pdf

全面解读GB/T44919-2024：微机电系统

（MEMS）薄膜力学性能鼓胀试验新标准

•1.标准概述

•2.适用范围

•3.鼓胀测试方法

目•4.测试设备

•5.测试试件

录•6.测试条件

•7.测试报告

•8.弹性模量测定

•9.残余应力测定

•10.标准采标情况

•11.标准起草单位

•12.标准起草人

•13.薄膜力学性能

目•14.MEMS技术简介

•15.薄膜材料选择

录•16.薄膜制备工艺

•17.薄膜性能评估

•18.薄膜应用实例

•19.标准实施意义

•20.标准实施挑战

•21.标准实施策略

•22.薄膜材料发展趋势

•23.MEMS技术发展趋势

目•24.标准对行业的影响

•25.标准对企业的影响

录•26.标准与法规政策的关系

•27.标准与知识产权保护

•28.标准与计量测试技术

•29.标准与认证认可

•30.标准与未来技术发展

PART01

1.标准概述

1.1发布背景与意义

适应MEMS技术发展

随着微机电系统（MEMS）技术的快速发展，薄膜材料在MEMS器件中的应用越

来越广泛，因此需要制定相应标准来规范其力学性能试验方法。

提高产品质量

通过制定鼓胀试验标准，可以统一评价薄膜材料的力学性能，提高MEMS产品的

质量和可靠性。

推动行业发展

标准的发布有助于推动MEMS薄膜材料力学性能研究的深入，为行业的技术进步

和创新提供有力支持。

1.2实施日期与状态

01实施日期

该标准于发布日期后的指定日期开始实施，具体

日期需参照官方公告。

02标准状态

GB/T44919-2024为现行有效标准，替代了之