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检测技术_压力传感器霍尔传感器--第1页
实验十压阻式压力传感器的压力测量实验
实验十压阻式压力传感器的压力测量实验
一、实验目的
了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。
二、基本原理
扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。在
压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电
阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。
三、实验器材
主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。
四、实验步骤
1、将压力传感器安装在实验模板的支架上，根据图4-1连接管路和电路（主机箱内的气源
部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好）。
引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源
快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另一端口与压力传感器相连。
压力传感器引线为4芯线：1端接地线，2端为U0＋，3端接＋4V电源，4端为Uo－。
图4-1压阻式压力传感器测压实验安装、接线图
2、实验模板上RW2用于调节放大器零位，RW1调节放大器增益。
按图4-1将实验模板的放大器输出V02接到主机箱电压表的Vin插孔，将主机箱中的显
示选择开关拨到2V档，合上主机箱电源开关，RW1旋到满度的1／3位置（即逆时针旋到
底再顺时针旋2圈），仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零。
3、合上主机箱上的气源开关，启动压缩泵，逆时针旋转转子流量计下端调压阀的旋钮，此
时可看到流量计中的滚珠向上浮起悬于玻璃管中，同时观察气压表和电压表的变化。
4、调节流量计旋钮，使气压表显示某一值，观察电压表显示的数值。
5、仔细地逐步调节流量计旋钮，使压力在2～18KPa之间变化，每上升1KPa气压分别读取
电压表读数，将数值列于表4-1。
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实验十压阻式压力传感器的压力测量实验
表4-1
P(KPa)2345678910
Vo(p-p)
P(KPa)1112131415161718
Vo(p-p)
6、画出实验曲线计算本系统的灵敏度和非线性误差。
实验完毕，关闭电源。
五、思考题
如果本实验装置要成为一个压力计，则必须对电路进行标定。
方法采用逼近法：输入4KPa气压，调节Rw2（低限调节），使电压表显示0.25V（有
意偏小），输入16KPa气压，调节Rw1（高限调节），使电压表显示1.2V（有意偏小）；
再调气压为4KPa，调节Rw2（低限调节），使电压表显示0.3V（有意偏小），调气压为16KPa，
调节Rw1（高限调节）使电压表显示1.3V（有意偏小）；这个过程反复调节，直到逼近自己
的要求（4KPa～0.4V，16KPa～1.6V），满足足够的精度即可。
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