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《ZnO纳米薄膜和纳米棒的制备及其掺杂改性研究》
一、引言
随着纳米科技的快速发展，ZnO纳米材料因其独特的物理和化学性质，在光电子器件、传感器、太阳能电池等领域展现出巨大的应用潜力。ZnO纳米薄膜和纳米棒作为ZnO纳米材料的重要形式，其制备工艺及掺杂改性研究成为当前的研究热点。本文将重点探讨ZnO纳米薄膜和纳米棒的制备方法，以及掺杂改性对其性能的影响。
二、ZnO纳米薄膜和纳米棒的制备
1.物理气相沉积法
物理气相沉积法是一种常用的制备ZnO纳米薄膜和纳米棒的方法。该方法通过蒸发或溅射ZnO靶材，使其在基底上形成薄膜或纳米棒。此方法具有制备过程简单、可控制性好等优点。
2.化学气相沉积法
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