微纳加工技术知到智慧树期末考试答案题库2024年秋哈尔滨工业大学.docx

微纳加工技术知到智慧树期末考试答案题库2024年秋哈尔滨工业大学

碱性腐蚀液对硅材料有（）的效果。

A:各向异性（晶向选择性）

B:各向同性

答案:各向异性（晶向选择性）

等离子体刻蚀在微纳加工领域的主要应用是（）。

A:晶圆减薄

B:去除光刻胶未遮挡的衬底

C:清洗焊盘

答案:去除光刻胶未遮挡的衬底

光源会引起（）的化学反应。

A:光刻胶

B:衬底和光刻胶

C:衬底

答案:光刻胶

（）技术可用于制备透射电镜样品。

A:FIB

B:热压键合

C:EBSD

D:扫描探针加工

答案:FIB

下面哪个波长与深紫外曝光光源的波长最为接近。

A:10nmB:1000nmC:100