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集成光波导传感器的研究

目录

1绪论 1

1.1研究背景及意义 1

1.2国内外研究现状 1

1.3主要研究内容及组织结构 2

2光波导的理论及制备方法 3

2.1光波导简介 3

2.2光波导的特点 3

2.3光波导的分类 4

2.4光波导的制备方法 7

3集成光波导传感器研究 9

3.1集成光波导传感器传感原理 9

3.2集成光波导传感器种类 9

3.2.1表面等离子体共振型光波导传感器 9

3.2.2平面薄膜波导型光波导传感器 10

3.2.3M-Z干涉型波导传感器 10

3.2.4布拉格光栅型波导传感器 11

3.2.5环形谐振腔型光波导传感器 12

4集成光波导传感器应用 14

4.1集成光波导型压力传感器 14

4.2集成光波导型温度传感器 15

4.3集成光波导型湿度传感器 15

4.4集成光波导型生物传感器 16

4.5集成光波导型流量传感器 16

4.6集成光波导型电磁场传感器 17

4.7集成光波导型超声波传感器 18

4.8集成光波导型气体传感器 19

5总结及展望 21

5.1本文工作总结 21

5.2研究工作展望 21

摘要

近年来，用集成光波导传感元件构成的新型光传感器是集成光学技术、光纤技术迅速发展，不断从实验研究走向应用研究的产物。光波导传感器的出现，引起了传感与高精度检测领域的关注，其原