《数字化检测与质量溯源》课件——2.4零件加工误差检测及补偿技术.pptx

超精密加工的检测、误差补偿技术概念目前，从零件的加工精度来划分，可以把亚微米以上精度（尺寸精度高于0.1um，Ra小于0.025um）的加工称为超精密加工。在超精密加工中，零件的精度很大程度上跟测量技术密切相关。

超精密加工的检测、误差补偿技术提高加工精度的方法保证零件加工精度的途径：1）“蜕化”原则，或称“误差避免”原则。2）“进化”原则，或称“误差补偿”原则。提高加工精度的途径：1）隔离和消除误差；2）误差补偿，用相应的措施去“钝化“、抵消、均化误差，使误差减小。

超精密加工的检测、误差补偿技术精密测量技术的最新发展1.极高精度测量方法和测量仪器的发展2.精密在线自动测量技术的发展3.测量数据的自动采集处理技术的发展原子力/三坐标测量机扫描隧道显微镜

检测设备与仪器单频激光干涉仪双频激光干涉仪光栅尺

超精密加工的检测、误差补偿技术加工精度的检测方式1.离线检测工件加工完毕后，从机床上取下，在机床旁或在检测室中进行检测。2.在位检测工件加工完毕后，在机床上不卸下工件的情况下进行检测。3.在线检测工件在加工过程中的同时进行检测，又称主动检测、动态检测。

在线检测概述在线检测就是在加工过程中，在不影响其他系统正常工作的情况下完成对所需物理量的测量。在加工过程中可以利用在线检测直接检测零件的尺寸，从而提高产品的质量，提高劳动生产率。特别是在批量生产条件下，研究先进的在线检测技术意义显得尤为重要。数控机床在线检测设备

概述在线检测的特点与分类在线检测特点1）能够连续检测加工过程中的变化，了解在加工过程中误差分布和发展；2）检测结果能反映实际加工情况；3）在线检测的难度较大；4）在线检测大都用非接触传感器，对传感器的性能要求较高；5）一般是自动运行，形成在线检测系统。在线检测类型1）直接检测系统：直接检测工件的加工误差，并补偿2）间接检测系统：检测产生加工误差的误差源，并补偿

误差补偿概念在机械加工中出现的误差采用修正、抵消、均化、“钝化”等措施使误差减小或消除——误差补偿。从狭义的角度分析：误差修正（校正）是指对测量、计算、预测所得的误差进行修正（校正)；误差分离是指从综合测量所得的误差中分离出所需的单项误差；误差抵消是指两个或更多个误差的相互抵消；误差补偿是对一尺寸、形状、位置差值的补足。

误差补偿方法误差补偿过程1）反复检测出现的误差并分析，找出规律，找出影响误差的主要因素，确定误差项目。2）进行误差信号的处理，去除干扰信号，分离不需要的误差信号，找出工件加工误差与在补偿点的补偿量之间的关系，建立相应的数学模型。3）选择或设计合适的误差补偿控制系统和执行机构，以便在补偿点实现补偿运动。4）验证误差补偿的效果，进行必要的调试，保证达到预期要求。

误差补偿方法误差补偿系统的组成1）误差信号的检测2）误差信号的处理3）误差信号的建模4）补偿控制5）补偿执行机构