电铸低应力镍磷合金工艺研究及工程应用仿真.pdfVIP

摘要

X射线聚焦望远镜的掠入射临界角小，制造难度大。基于电铸复制方法制造

的Wolter-Ⅰ型X射线光学系统综合性能较优，是该领域的研究热点。该方法要求

电铸镍基合金强度高，应力低，目前已经实现工程应用的有电铸镍以及电铸镍钴

合金，但是随着其尺寸增大，纯镍或镍钴合金难以满足其力学性能要求。镍磷合

金有着较高的机械强度，成为潜在的替代品，但电铸镍磷合金镜片过程中，电铸

层内应力过大会导致镜片产生形变从而影响其精度。本文通过工艺实验探究最佳

镍磷合金电铸工艺，通过各种表征手段研究电铸过程中内应力以及结构成分变化

规律，并通过模拟仿真设计电铸装置，为X射线聚焦望远镜制造提供电铸模型。

研究了氨基磺酸体系中亚磷酸含量、pH值以及电流密度对电铸层内应力的影

响，最优的工艺条件为氨基磺酸镍400g/L、亚磷酸2g/L、氯化镍20g/L、硼酸

35~40g/L，十二烷基磺酸钠0.5g/L、温度为50℃、pH值为4.0、电流密度为0.54

A/dm2。通过SEM以及XRD对电铸层微观形貌以及晶体结构进行表征发现，电

铸层形貌随着电铸液中亚磷酸含量增加、pH值升高以及电流密度降低而变得平整

细致，晶粒尺寸逐渐减小，电铸层微观形貌由棱锥状转变为花椰菜状。通过ICP

定量分析电铸层元素组成表明，电铸层中磷含量随着电铸液中亚磷酸含量的增加、

pH值的降低而增加，随着电铸液中电流密度增大先增大后减小，这与XRD谱图

中（111）峰相对强度的变化趋势一致，说明磷的掺入影响晶体生长的择优取向。

实验表明，电铸层内应力随着电铸层中磷含量的增大而增大，电铸层硬度随着镀

层中亚磷酸含量增加、电流密度的增加而增大，随着pH值的升高先降低后升高。

设计了600型和300型X射线聚焦望远镜电铸模型，并对X射线聚焦望远镜电

铸过程进行仿真模拟。COMSOL软件模拟结果显示，沉积层厚度分布与电流密度

分布一致，600型X射线聚焦镜镜片模具正装时电流密度分布随着镜片尺寸增大

以及绝缘底盘尺寸增大而更加均匀，阳极上端直径越大，电流密度分布越均匀；

300型X射线聚焦镜镜片电铸时，小型镜片电流密度分布更加均匀，且随着槽底

空高和阳极直径的增大更加均匀，阳极上端直径越大，电流密度分布越均匀。

关键词：电铸；镍磷合金；内应力；工艺研究；仿真模拟

ⅠX-rayopticalsystembasedonelectroforming

replicationmethodhasbettercomprehensiveperformanceandisaresearchhotspotin

thisfield.Thismethodrequireshighstrengthandlowstressofelectrocastnickel-based

alloys.Atpresent,electrocastnickel-cobaltalloysandelectrocastnickel-cobaltalloys

havebeenappliedinengineering,butwiththeincreaseoftheirsize,purenickelornickel-

cobaltalloysaredifficulttomeettheirmechanicalpropertiesrequirements.Nickel-

phosphorusalloyisapotentialsubstitutebecauseofitshighmechanicalstrength.

However,intheprocessofelectroformingnickel-phosphorusalloylenses,excessive

stressintheelectroforminglayerwillcausedeformationofthelensesandaffectthe

accuracy