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华中科技大学硕士学位论文
摘要
硅基光子器件以其具有低损耗、低成本、结构紧凑且制作工艺与CMOS工艺兼
容等优势，在集成光通信、光传感和光互联等方面有着重要的应用价值。作为硅基集
成光子重要器件之一，硅基滤波器已被广泛应用于波分复用和光传感等领域。其中，
基于波导布拉格光栅的硅基滤波器具有波长稳定、无自由光谱范围限制、带宽易于控
制以及制作简单等优点而备受关注。本文主要围绕基于侧向支撑悬空波导的热调相
移布拉格光栅滤波器展开研究，在获得窄带宽滤波的同时，
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