光学薄膜监控技术.ppt

例题：设计淀积2?m厚的SiO薄膜，已知SiO的折射率为2.0，监控片的折射率为1.5，单色光波长为1?m，假设薄膜吸收为零，如何监控？根据干涉原理：监测到第8个最大值即可。添加标题添加标题添加标题极值法在基片上镀制单一层膜时，薄膜的透射光或反射光强度随着薄膜厚度的变化曲线呈余弦状。极值法：监控淀积过程中出现极值点的次数来控制四分之一波长整数倍膜层厚度极值法控制技巧直接控制：全部膜层直接由被镀样品进行控制第一，相邻膜层之间能自动进行膜厚误差的补偿；第二，避免了因凝集特性变化所引起的误差。因而使窄带滤光片获得较高的波长定位精度。过正控制：镀制过程中故意产生一个一致性的过正量，以减少判断厚度的随机误差（极值监控时常用的控制手段）。极值法控制技巧定值法控制：在干涉截止滤光片中有特殊应用。由于定值法的停点一般选择在远离极值点，所以其控制精度是非常高的。若ΔT=1%，则高折射率层的膜厚相对精度P=1.35%，低折射率层P=3.9%主要用于截止滤光片的制造单波长监控系统单光路系统：不能排除光源波动和电路系统暗噪声、漂移影响，称为“光量测量”。相对测量精度可以达到0.01%。1双光路系统：通过对参考光和暗信号的测量，消除光源和电路暗噪声、漂移影响，为“光度测量”。绝对测量精度可以达到0.001%2单波长监控系统单波长监控系统-硬件特点高分辨率单色仪焦距150mm，光栅1200线。波长范围350nm-900nm。线色散5.4nm/mm，狭缝10μm-3mm可调高灵敏度探测器CR114光电倍增管：185-870nm宽谱响应锁相放大器，从强干扰中提取弱信号单波长监控系统-软件处理材料色散和折射率测量n（λ）=A0+A1/λ+A2/λ2数据处理：剔除粗大误差双光路系统用直流放大器取代锁相放大器，锁相放大器有信号延迟的缺点采用13HZ斩波器对参照光、信号光、暗底三相分频双光路优点参考光测量消除光源发光功率波动的影响暗信号测量消除杂散光以及电路系统暗电流的影响误差传递和累积膜层设计厚度含误差厚度误差误差百分比183.7nm88.7nm5nm6%2119.6nm122.6nm3nm2.5%329.9nm36.7nm7nm23.4%4159.4nm153.4nm-6nm-3.76%565.9nm61.9nm-4nm-6.1%绝对误差（nm）1.4H1.2L0.5H1.6L1.1H(膜层)停点选择对控制精度的影响以G/H/A膜系为例，nH=2.35,λ0=550nmλc=550nm;当光度值变化0.01%，厚度的相对误差为1%。λc=500nm;当光度值变化0.01%，厚度的相对误差为0.1%单层膜的厚度误差分析AB监控法所谓AB监控法，就是设计一个监控装置，采用AB两块监控片交替使用，把一个由高低折射率组成的膜系的膜层顺序打乱，低折射率材料膜层镀在A监控片上，高折射率材料膜层镀在B监控片上。AB监控法的优点第二，由于膜层材料是单一的，理论上的反射率极大值点与极小值点是可以预测的，利用这些极值点作为参照点，发展一种实用的膜厚修正方法，即比例修正法。第一，适当地移动监控波长，可以使各层膜理论停点选择在远离极值点位置，从而得到高的膜厚监控精度；AB监控法的优点第五，透（反）射率都在一个固定的范围内变化，监控系统不需要在大的动态范围内切换，可以利用放大器和探测器的最佳工作区，把系统设计的非常稳定、非常线性，从而保证高的控制精度。在监控片上理论膜系的膜层顺序是被打乱的，前一层膜的监控误差不会影响到本膜层，这样也有利于监控过程中膜厚误差的截断与补偿；在极值点处导纳值为实数，可以方便地计算出其导纳值，用这个实数导纳值取代前面已经镀过的所有膜层，就好像后面所有的膜都是镀在这样导纳值的一个新基片上，膜厚误差被截断了；AB法监控时的监控方案选择添加标题根据AB监控法的原理，编排一个非常方便使用的计算程序。通过重新编排膜层顺序和改变监控波长的方法，寻找各层膜合适的透（反）射率停点。选择停点的基本原则：一是避开极值点；二是每层膜的停点最好至少要过一个极值点。添加标题当在A监控片上镀制低折射率材料时，透（反）射率值变化幅度很小，这样不利于膜厚的精确控制。此时，在重新分配膜层时，把第一层的高折射膜层并入A监控片，以提高A片上低折射率膜层的透（反）射率的变化幅度。添加标题由于应力的原因，在一块监控片上镀制同一种膜层不宜太厚，一般每块监控片的膜层累积厚度不宜超过十个λ/