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等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面绝缘性能影响
目录
等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面绝缘性能影响（1）
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1聚酰亚胺薄膜的应用背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2等离子体处理技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3化学氟化处理技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.4研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
材料与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.1聚酰亚胺薄膜的制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.2等离子体处理工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.3化学氟化处理工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.4表面绝缘性能测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.1等离子体处理对聚酰亚胺薄膜表面形貌的影响．．．．．．．．．．．．．．15
3.2化学氟化处理对聚酰亚胺薄膜表面形貌的影响．．．．．．．．．．．．．．15
3.3等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面形貌的影响
3.4等离子体处理对聚酰亚胺薄膜表面能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.5化学氟化处理对聚酰亚胺薄膜表面能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.6等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面能的影响．．19
3.7等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面绝缘性能的影响
讨论与结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
4.1等离子体与化学氟化处理对聚酰亚胺薄膜表面形貌的影响机制
4.2等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面能的影响机制
4.3等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面绝缘性能的影响机制
4.4研究结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
展望与建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
5.1等离子体与化学氟化处理技术的进一步优化．．．．．．．．．．．．．．．．26
5.2等离子体与化学氟化叠加处理在聚酰亚胺薄膜表面改性中的应用前景
5.3未来研究方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
等离子体与化学氟化叠加处理对聚酰亚胺薄膜表面绝缘性能影响（2）
内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
等离子体处理技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.1等离子体的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.2等离子体的产生方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.3等离子体在表面处理中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
化学氟化处理技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
3.1化学氟化的定义与原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.2化学氟化的反应机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.3化学氟化的应用实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
等离子体与化学氟化叠加处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
4.1叠加处理的基本原理
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