《硅基晶圆制造单位产品能耗限额（征求意见稿）》团体标准编制说明.pdfVIP

《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》

团体标准（草案）编制说明

1项目背景

能源资源是经济社会发展的动力源，节能提效成为绿色低碳的

“第一能源”和降耗减碳的首要举措。2021年，国务院印发《“十四

五”节能减排综合工作方案的通知》（国发〔2021〕33号），指出要

大力推动节能减排，加快建立健全绿色低碳循环发展经济体系，助力

实现碳达峰、碳中和目标。“十四五”期间，浙江省认真贯彻落实党

中央、国务院决策部署，继续深入推进区域、行业能效水平提升优化

及节能标准化工作，将节能减排保持在全国先进水平。

集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导

性产业，是培育战略性新兴产业、发展信息经济的重要支撑，关乎国

家核心竞争力和国家安全，在信息技术领域具有核心地位。浙江省集

成电路产业是国内集成电路产业集聚度最高，产业链最为完整，创新

能力最强，综合技术水平最高的地区之一，为国内集成电路产业发展

起到了示范的作用。2021年，浙江省硅基晶圆制造业销售额首次迈上

百亿元规模，同比增长45.94%，远超于全国同行平均增长水平，吸引

着越来越多的硅基晶圆制造项目落地。然而，在我省项目窗口指导评

审中，缺乏单位产品能耗的参考标准。为进一步规范浙江省硅基晶圆

制造，稳定和提高企业的运营质量，推动企业节能减排、控制成本，

有必要制定硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额的标准。考虑争取国

家标准和地方标准制定周期较长，省半导体行业协会在省发改委、经

信厅的大力支持下，联合省内硅基晶圆制造企业共同编制《硅基晶圆

制造单位产品能源消耗限额》协会团体标准。

2项目来源

本项目根据浙江省半导体行业协会浙半协〔2022〕》4号文件《浙

江省半导体行业协会关于〈集成电路晶圆制造能源消耗限额〉〈硅单

晶及其硅片单位产品能源消耗限额〉等团体标准立项的通知》，由浙

江省半导体行业协会牵头起草，项目周期为6个月。

3标准制定工作概况

3.1标准制定相关单位及人员

3.1.1本标准起草单位：浙江省半导体行业协会、杭州士兰微电子

股份有限公司、杭州立昂微电子股份有限公司、绍兴中芯集成电路制

造股份有限公司、宁波比亚迪半导体有限公司、矽力杰半导体技术（杭

州）有限公司、中芯集成电路（宁波）有限公司、嘉兴斯达半导体股

份有限公司、浙江大学。

3.1.2本标准起草人为：丁勇、陈丽霞、俞凯旋、咸春雷、彭昭、

余庆、陈迪、阳源、王栋、屈万园。

3.2主要工作过程

3.2.1前期准备工作

标准提案：在9月底召开的理事长会议上，决定编制集成电路

晶圆制造单位产品能源消耗限额的协会团体标准，为争取浙

江省地方标准奠定基础

召开启动、研讨会：10月13日，以线上线下结合的方式召开

第一次研讨会，全省主要生产企业的相关负责同志参加此次

会议，初步确定标准名称、标准框架、起草单位，表明本标

准编制工作正式启动。

标准立项：11月份协会下达了标准立项文件。

组建工作组：组建了协会和主要企业相关负责人参加的标准

编写工作组，明确了编制任务，拟定了编制工作计划。

3.2.2标准草案研制

收集国内相关标准：收集到GB/T12723《单位产品能源消耗

限额编制通则》、GB/T2589《综合能耗计算方法》，并与这

两个标准的第一起草人进行沟通，为编制该标准取得了重要

依据。收集到上海市地方标准DB31/506—2O2O《集成电路晶

圆制造单位产品能源消耗限额》及其编制说明，为起草该标

准提供了参考。

开展企业调研：到杭州士兰微电子股份有限公司进行了实地

调研，然后设计了《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额

团体标准数据调研表》，向省内晶圆制造主要企业了解单位

产品能源消耗实际情况。

吸收兄弟单位经验：与上海市半导体行业协会专家进行了连

线，就有关问题进行了交流、请教，取得了一些有益的意见。

编写标准草案及其编制说明：根据标准编制原则，经反复研

究，确定了标准主要内容，编制了标准草案及其编制说明。

3.2.3标准研讨会

2022