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2017年第36卷第8期传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)25
DOI:10.13873/J.1000—9787(2017)08—0025—04
基于复合气敏材料WO3/SrAl2O4的硫化氢气体传感器*石莎莎1,冯文林1,2,冯序1,邓大申1,秦祥1
(1.重庆理工大学理学院,重庆400054;
2.现代光电检测技术与仪器重庆市重点实验室,重庆400054)
摘要:采用溶胶—凝胶法制得WO3/SrAl2O4复合气敏材料。经过工艺加工制得旁热式厚膜陶瓷元件在密封的气室内测试,获得了对H2S气体具有良好灵敏度、选择性和响应恢复性的气敏元件。为检测和治理生产生活中的H2S污染,提供了可供参考应用的气敏传感元件。
关键词:硫化氢;溶胶—凝胶法;旁热式气敏元件;气敏传感器
中图分类号:V233.71文献标识码:A文章编号:1000—9787(2017)08—0025—04
H2SgassensorbasedonWO3/SrAl2O4compositegas
*sensitivematerials
*
SHISha-sha1,FENGWen-lin1,2,FENGXu1,DENGDa-shen1,QINXiang1(1.SchoolofScience,ChongqingUniversityofTechnology,Chongqing400054,China;
2.ChongqingKeyLaboratoryofModernPhotoelectricDetectionTechnologyandInstrument,
Chongqing400054,China)
Abstract:CompositegassensitivematerialWO3/SrAl2O4issuccessfullypreparedbysol-gelmethod.Afterprocessingtheheater-typethick-filmceramicgassensitivecomponentisobtained.Goodsensitivity,selectivityandresponseandrecoverycharacteristicsareobtainedforH2Sgasbytestinginasealedchamber.InordertodetectandcontroltheH2Spollution,itprovidesasensingcompomentforreferenceandapplication.
Keywords:hydrogensulfide;sol-gelmethod;heater-typegassensliveelement;gassensor
0引言
H2S是一种无色的剧毒性气体,广泛存在于大气中[1,2],也是大气重要污染物之一,因此,研究对H2S气体敏感的传感器在生产、生活中具有十分重要的意义[3~7]。
采用溶胶—凝胶方法,WO3与SrAl2O4以1∶1质量比,制得WO3/SrAl2O4复合粉体。经过调浆、涂覆、烧结、陈化和封装等工艺,制得旁热式厚膜陶瓷元件。以电阻为感量,分别在密封的气室内通入不同浓度的H2S、乙醇和丙酮,测试气敏元件的响应恢复特性、灵敏度和选择特性等气敏特性,获得了对H2S气体具有良好灵敏度、选择性和响应恢复性的气敏元件。为检测和治理生产生活中的H2S污染,提供了可供开发应用的气敏传感元件。实验表明:当WO3与SrAl2O4以1∶1的复合时,传感器对H2S气体具有好的敏感性。
1实验
1.1敏感材料WO3/SrAl2O4材料的制备过程
实验采取溶胶—凝胶法制备SrAl2O4材料,将配置好的
Sr(NO3)2溶液与Al(NO3)3溶液混合在一起,再缓慢滴入柠檬酸,并
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